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- RoboTechnik Intelligent Technology Co., Ltd.
プロセスオートメーション システム WTA9000L/ul
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特徴
- 特性
- プロセス
詳細
プロセス :
M2 (156.75), M4 (161.75), G1 (158.75), M6 (166), M10 (182), M12 (210), 230mmのシリコンウェーハに対応。
各社のウェハ検査装置およびPSG除去装置に対応
特長 :
入力端子カセットまたはスタック
出力：カセットの種類
オプションで高精度の計量、クラッキング、サイズ、フラグメント検出が可能
オプションのマッチ5,6,8,10レーン
オプションのサポートMESインターフェイスとリモートデバッグ機能OEE統計＆エネルギー消費分析
スマートIGVインターフェース（オプション
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