光電子分光器 NanoSAM Lab
プロセスMCPAuger

光電子分光器
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特徴

タイプ
光電子
分野
プロセス
検出器のタイプ
MCP
その他の特徴
Auger

詳細

UHVジェミニ電子カラム: 最高の空間分解能 最小 Eビームスポットサイズ 独自の低エネルギー性能 効率 SEM、インレンズSED NanoSAM 電子分析器: 可変エネルギー分解能 優れた感度、マルチチャンネル検出 サンプル処理: フレキシブルサンプル サイズ 可変サンプル温度(50 ~ 500K) サンプルチルト 60 NanoSAM Labは、小規模構造物の解析に最適なツールです。 UHV ジェミニ電子カラムのユニークな性能によって駆動され、走査型オージェ顕微鏡(SAM)では5nm 以下、SEMでは3nm 以上の比類のない分解能を保証します。 他のAugerツールとは対照的に、非常に優れた分解能は標準 20keVビームエネルギーだけでなく、5keVでもSAMの分解能は10nm 以下のままです。 これにより、オージェ断面が高く、定量分析のために十分に文書化されたパラメータ範囲での操作が可能になります。

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カタログ

NanoSAM Lab
NanoSAM Lab
6 ページ
*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。