イオン源 FDG15

仕様 エネルギー範囲 400 eV ～ 5 keV (10 eV オプション) 最大ビーム電流 > 10 μA @ 5 keV > 100 nA @ 15 eV (10 eV オプション) ビーム直径 300 μm と 2 ′′ @ 5 keV インテグラルポートアライナー あり 陽極酸化 イットリウムコーティングタングステン (オプション) イリジウムフィラメント 作動距離 30 mm-300 mm 挿入深さ 173 mm チャンバー圧作動中 5x10-7 mbar-1x10-8 mbar 取り付けフランジ CF 35/2¾′′ OD エレクトロニクスインターフェイス TCP/IP ソフトウェアコントロール LabVIEW™-ベースのソフトウェア「ProIon」 FDG 15は、FDG 150と同じ実績のあるビーム生成を使用し、広く普及しているが、もはや利用できないISE 10（Leybold/Kremer/OMICRON）が過去に使用されていたすべてのアプリケーションの代替として使用できます。 さらに、FDG 15には、より柔軟なイオン光学系が搭載されており、より長い作動距離とオプションのイオンフラックス安定化に対応できます。