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Shanghai Royal Technology Inc.
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回転スパッタリングカソード
RTSP-CS
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1. 有限要素磁場設計 2.冷却水から隔離された磁石 3. DC/MF、RF電源に対応 4. 高いターゲット使用率 5. 排出方向の調整が可能 6. 高出力密度と優れた均一性 7.バランスとアンバランスモードの選択 8. 目標使用率: > 80%
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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。
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