MEMS振動センサー AKF398

静電容量式装置監視用予防保守メンテナンス用

製品概要
AKF398は、アナログ電流出力（4–20 mA）の三軸MEMS振動センサーで、振動試験、衝撃測定および現場での継続的監視向けに設計されています。検出素子は単結晶シリコンの容量型MEMSダイで、低消費電力のASICによる信号調整、補正値を記憶するマイクロコントローラ、温度センサーを内蔵します。電子部は半導体リセット電源と過電圧保護を備えます。

主な性能

• 測定軸：X、Y、Z（三軸）
• 出力：4–20 mA電流ループ
• 電源電圧：9–36 VDC
• 衝撃耐性：規定値 100 g @ 11 ms（3軸、半正弦）；製品レベルでは最大約2000 g（試験条件依存）
• 動作温度：-40 °C〜+85 °C；保管温度：-40 °C〜+85 °C
• 保護等級：IP67；コネクタ：産業用M12

適用分野

• ローラ（締固め機）監視
• 橋梁の構造監視および検査
• 道路インフラ、路盤解析、高速鉄道の故障検出
• 研究開発・生産での振動・衝撃試験

主な仕様（抜粋）

• 型番：AKF398
• センサー種別：単結晶シリコン 容量型MEMS
• 測定レンジ：±2 / ±4 / ±8 / ±10 / ±20 / ±40 g
• 典型感度（mA/g）：4 / 2 / 1 / 0.8 / 0.4 / 0.2（±10%）
• オフセット/較差キャリブレーション：<1 mg（記載レンジ）
• 分解能／検出閾値（@1 Hz）：<1 mg
• 非直線性：通常 <0.5%–1% FS（レンジ依存）
• 周波数特性：500 Hzまでフラット；帯域幅（3 dB）1000 Hz
• 共振周波数：低レンジで約2.4 kHz、高レンジで約5.5 kHz
• ノイズ密度：例 21 μg/√Hz または 86.6 μg/√Hz（レンジ依存）
• 0 g出力（約12 mA）オフセット：<0.005 mA または <0.003 mA（レンジ依存）
• 振動耐性：20 g RMS、20–2000 Hz、各軸30分
• 衝撃回復時間：<1 ms（例：1000 g、1/2 sin 1 ms）
• 動作電流：<60 mA @ 12 VDC
• 入力（VDD–VSS）：9–36 VDC
• コネクタ：産業規格 M12
• 保護等級：IP67
• 重量：本体 82 g（付属品は別途）
• 外形寸法：34.3 × 34.3 × 38.5 mm（筐体/アダプタ/ベースの追加寸法あり）
• 信頼性目標：MIL-HDBK-217、等級2