浸漬系洗浄機 RCA

自動ウェハー用

・処理能力：400個/バッチ、9600個/時（210mmウェーハ）、480個/バッチ、12000個/時（182mmウェーハ）。 ・各種添加剤技術に対応。 ・ウェハーの厚さは120μmまで対応。 ・ドライクリーンエリアおよびセルフクリーニングシステムを装備。 ・インラインでの迅速な浴液交換が可能。 ・MES、RFIDシステムに対応。インライン重量検査はオプション。