金属化フィルム貯蔵マシン

・BBr3液体源およびBCL3ガス源の制御・供給技術が確立されている； ・特許取得済みの技術； ・独自の二重層入れ子式炉扉構造； ・高速かつ安定した一体型モジュール式ボート押し出し機構； ・インテリジェントな自動制御； ・独自の知的財産権を有するMESソフトウェア； ・S.Cスマート生産管理システムとの連携。