・シリコンウェーハはキャリアの取り付けを必要とせず、水平方向に連続して搬送されます。
・機械全体がPP製の耐火材料で完全に覆われており、装置の安全性が向上しています。
・特殊な銅製タンクと配管の設計により、使用する薬品の量を削減できるほか、ポンプのエネルギー消費も低減します。
・独自の散水洗浄モジュールにより、洗浄時に電池セル全体を確実にカバーします。
・柔軟な陰極接触方式によるシリコンウェハーの電気めっきは、より安定しています。
・プロセス制御は、IPC産業用制御コンピュータとPLCを組み合わせて行われ、自動モードまたは手動モードでの運転が可能で、自動搬入・搬出機と連携させてスマート生産を実現できます。
・自社開発のソフトウェア設計、ユーザーフレンドリーな操作インターフェース、生産および機械稼働状況のリアルタイム表示、レシピ編集機能、完全なログ記録機能、モジュール式のソフトウェア設計により、お客様のカスタマイズ要件に対応します。
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