スパッタリング式コーティングおよびラミネートマ装置

・PVD片面ロール・ツー・ロールスパッタリングコーティング、TCO/ITO薄膜成膜技術。 ・薄膜の密着性を効果的に高めるプラズマ前処理。 ・オンライン光学検査とオンラインシート抵抗測定の統合。 ・膜材料に応じた成膜ガスバリア技術。