薄膜貯蔵マシン

真空

・コンパクトな設置面積と短い処理時間を特徴とする単室設計。 ・異なる前駆体や材料を用いた多層複合膜の成膜が可能で、幅広いプロセススケーラビリティを備えています。 ・膜厚と均一性を精密に制御することで、高いコンフォーマリティと低い欠陥密度を備えた緻密な膜構造を実現し、優れた特性を発揮します。