質量流量センサー FS4001

ガス

このセンサーは、GCなどの計装用に設計されています。また、1000μm以下の一般的な流量測定にも使用できます。 本シリーズのマスフローセンサーは、当社独自のMEMSセンシング技術により、主にガスの低質量流量計測用に設計されています。条件付層流とエレクトロニクスにより、高い精度と信頼性を確保しています。 特徴 低質量ガス流量計測用に設計されたマスフローセンサ 1ミリ秒までカスタマイズ可能な高速応答性 フルダイナミックレンジでの層流計測 アナログとデジタルの両インターフェース 100:1を超える大きなターンダウン比 オプションのデタッチドデザイン アプリケーション *実験室の流量測定 *GC質量分析計 *リーク検出 *計装機器 *ドライガスによるプロセスモニター *自動化 流量範囲 0-30...1000 と思われる 精度 - ±(1.5+0.5FS)- %. ターンダウン比 - > 100:1 消費電力 - <50.0 - mW 応答時間 - 65（デフォルト、4、8、16、33、131選択可能） - msec 最大定格圧力 - 0.5 - MPa 最大圧力損失 - 30（代表値） - Pa