質量流量センサー FS8000 series

密度ガスプロセス監視用

このセンサーは1ミリ秒という最速の応答を提供し、オートメーション、ロボット制御、その他の計装アプリケーションに最適です。 この一連のマスフローセンサーは、当社独自のMEMSセンシングおよび制御電子技術を活用し、ガスマス流量測定用に高速応答で設計されています。半導体製造装置とオートメーションがターゲットとなる2つのアプリケーションです。 オートメーション制御用 1msecの高速応答時間 高速フロースイッチ アナログとデジタルの両方のインターフェース 100:1以上の大きなターンダウン比 コンパクトな設置面積 用途 *装置の自動化 *ロボット動作 *漏れ検知 *計装 *ドライガスによるプロセスモニター *フロースイッチング 流量レンジ - 0 - 100...500 0 - 2000...6000 - サンプル 精度 - ±(2.0+0.5FS) - %. ターンダウン比 - > 100:1 消費電力 - £ 50.0 - mW 応答時間 - 5ミリ秒（標準）、最大1ミリ秒までカスタマイズ可能 最大定格圧力 - 0.5 - MPa 最大圧力損失 - 900（代表値） - Pa 温度 - -10-55 - °C 電源 - 8 - 24 - Vdc ヌルシフト - ± 30.0 - mV 温度係数 ±0.12 %/°C 出力 - リニア、l2C; アナログ 0.5 - 4.5 Vdc 機械的接続 - M5 / Rc 1/8インレットおよびM5アウトレット 重量 - 12 / 21 g