質量流量センサー FS5001 series

ガスアナログ出力

このセンサーは、計装および/またはマニホールドアセンブリ用に設計されています。1000sccmまでの低流量用と4SLPMまでの高流量用があります。 この一連のマスフローセンサーは、当社独自のMEMSセンシング技術を利用したガスマス流量測定用に、マニホールド設置構成で設計されています。計測と自動化の2つのアプリケーションをターゲットとしています。 マニホールド設置用に設計されています。 10msecまでカスタマイズ可能な高速応答時間 フルダイナミックレンジの層流 アナログとデジタルの両方のインターフェース 100:1以上の大きなターンダウン比 高/低流量アプリケーション アプリケーション *ラボ流量測定 *GC質量分析計 *リーク検出 *計装機器 *ドライガスによるプロセスモニター *オートメーション 流量レンジ - 0～200...1000 - 0 ~ 2000...6000 - 見かけ 精度 - ±(2.0+0.5FS) - %. ターンダウン比 - > 100:1 消費電力 - <50.0 - mW 応答時間 - 10（デフォルト、5,10,20,50,100,500,1000選択可能） - msec 最大圧力損失 900 (代表値) Pa Temperature_-10-55_°C 電源 - 8-24 - Vdc ヌルシフト - ± 30.0 - mV 温度係数 - ±0.12 %/°C 出力 - リニア、l2C; アナログ 0.5 - 4.5 Vdc 機械的接続 - マニホールド対応 重量 - 15