FIB/SEM顕微鏡 SOLARIS研究用高精度超高解像度
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特徴
- タイプ
- FIB/SEM
- 応用
- 研究用
- その他の特徴
- 高精度, 超高解像度
詳細
研究室のための高度なナノ加工ワークベンチ
- 優れた超高分解能SEMイメージング
- 最高分解能のGa FIBカラム
- 電子・イオンビーム用高精度ナノパターニングエンジン
- 様々な前駆体ガスを使用したマルチガスインジェクションシステム
- 使いやすいモジュール式のソフトウェア・ユーザー・インターフェース
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