Thermo Scientific Helios Hydra PFIB-SEMは、4つの異なるイオン種(アルゴン、窒素、酸素、キセノン)を搭載した汎用性の高いマルチアプリケーションツールです。優れた結果は、S/TEMラメライメージング、3D特性評価、または大面積の物理的故障解析のいずれを実行する場合でも、包括的なサンプル前処理から始まります。
ターゲットを絞ったアプリケーション機能が強化されたHelios 5+ Hydraの登場です。この革新的なシステムで、お客様の故障解析や材料特性評価の課題に何ができるのか、詳細をご覧ください。
Helios Hydra PFIB-SEM の特長
複数のプラズマ FIB イオン種
性能を犠牲にすることなく、アルゴン、窒素、酸素、キセノンを10分以内に簡単に切り替えることができます。この驚くべき柔軟性は、PFIB の潜在的な応用領域を大幅に拡大し、既存のユースケースを最適化するためのイオン-サンプル相互作用の研究を可能にします。
超高分解能SEM分析
革新的な多イオン種プラズマ-FIBカラムと単色Thermo Scientific Elstar UC+ SEMカラムを組み合わせることで、高度な集束イオンビームおよび電子ビーム性能を実現します。
高精度FIBミリング制御
最大電流でも最適化されたビームプロフィルにより、ミリングプロセスと実験を正確に制御します。
極限プラズマ FIB ミリング
全てのPFIBアパーチャの自動アライメントにより、大容量アプリケーションのための大幅な機能強化が簡単に達成でき、最大6µAまでの50%高い最大電流に常にアクセスし、最適化することができます。
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