表面処理用プラズマ源 TruPlasma DC 3000 (G2) series

TruPlasma DCシリーズ3000(G2)は、パルスプロセス電源の代替を含め、多くのDCスパッタリングプロセスに適しています。これは、プログレッシブアークマネージメントが最高のレイヤ品質を保証し、生産歩留まりを大幅に向上させるからです。非常にコンパクトな設計のため、水冷式DCジェネレーターを現在のアプリケーションに非常に簡単に組み込むことができます。 クラス最小のアークエネルギー 0.3 mJ/kW 未満の残留エネルギーが、最高の層品質と高い成膜速度を保証します。 高い出力密度 非常にコンパクトな設計（19インチプラグインユニット）により、大きな出力レベルでも簡単に統合できます。 広い出力範囲 出力は20kW～300kWで、大型発電機の置き換えも可能です。 完全水冷 システムの長寿命化とメンテナンスの低減を実現します。 シンプルなシステム統合 可変ライン電圧（400 V～480 V）と異なるデータインターフェース。