光起電性貯蔵マシン NEXUS DLC-X

熱蒸発によるダイヤモンド カーボン塗装用

NEXUS DLC-Xダイヤモンドライク カーボンシステム 耐腐食性TFMH被覆膜技術 VeecoのNEXUS DLC-Xシステムで、高密度、均一で、再現可能なダイヤモンドライク カーボン（DLC）の薄膜を蒸着し、長寿命のTFMHスライダー オーバーコートとランディング パッドを作ります。Nexus DLC-X は、sub-20A オーバーコートの厚さを可能にする業界初の生産価値のあるパルス式カソードアークソースを備え、旧世代に比べてより高いプロセス歩留まりを目指し、段階被覆率の改善をサポートします。 優れた均一性、再現性、およびパルス式カソードアークによる硬質な膜蒸着 長距離、低圧PVDにより、濃厚でピンホールのないシリコン シード層を実現 反応性PVDプロセス能力 調整可能な低エネルギーNEXUS 420イオンビームエッチングソースにより、 75 ボルトから 300 ボルトへのビームエネルギーの安定操作が可能 傾斜エリプソメータで、エッチングおよび蒸着エンドポイント制御を促進