光学式プロフィロメータ Nexview™ LS650

3D干渉研究所用

Nexview™ 650メトロロジーシステムは、射出成形金型、PCB、ガラスパネル、その他最大650 x 650 mmまでの拡張ワークボリュームを必要とするサンプルを自動測定するための検査ツールです。サブナノメートルの垂直精度とサブミクロンの水平精度で、様々な表面形状を2Dおよび3D測定します。 パワフルな性能 コヒーレンス・スキャニング・インタフェロメトリ（CSI）は、Nexview™ 650システムの核となる測定技術です。 この非接触技術は、以下のような高精度で価値の高い表面形状測定技術を提供します。 - 薄膜、急斜面、大きな段差など、粗い表面から超平滑面まで、ほぼすべてのタイプの表面を測定します。 - サブナノメートルの測定精度は、フィールドの倍率に依存しない。 - ゲージ性能 - 最も要求の厳しい製造アプリケーションに対応する優れた精度と再現性。 - SureScan™ 耐振動テクノロジー - ほとんどすべての環境で堅牢に動作します。 - Mx™ソフトウェアにより、ZeGage™ Pro、NewView™ 9000、Nexview™ NX2など、他のZYGOプロファイラーとシームレスにデータ交換が可能です。