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... 排ガスに含まれる固体粒子のうち、一定の粒径範囲の粒子数を 測定するための車載型分析計です。Particle Measurement Progamme（PMP）推奨の検出原理であるレーザ散乱式凝縮粒子カウンティングを採用しています。 小型・軽量・省電力 実路走行でPN計測 OBS-ONE PNユニットは排ガスに含まれる固体粒子のうち、一定の粒径範囲の粒子数を 測定するための車載型分析計です。 Particle Measurement ...
... EtchTemp™）シリーズのin situウェーハ 温度 測定 シス テムは、300mmと200mmの両方のコンフィギュレーションがあり、実際のプロセス条件下で生産ウェーハ上のプラズマエッチプロセス環境の影響を捉えます。EtchTemp-HD 測定 シス テムは、導体エッチングアプリケーションのCD均一性制御と強い相関性を持つ、ウェーハ全体の 温度モニタリングを可能にする高いセンサー密度を含んでいます。エッチテンプ-HDワイヤレスウェーハは、製品ウェーハの状態を忠実に再現する 温度条件を特性化することにより、プロセスエンジニア ...
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... HighTemp™シリーズのウエハ 温度その場 測定 シス テムは、300mmと200mmの両方のコンフィギュレーションがあり、先端膜プロセス（FEOLおよびBEOL ALD、CVDおよびPVD）およびその他の高温プロセスを最適化および監視するために設計されています。HighTempワイヤレスウェーハは、プロセスツールの 熱均一性を 測定し、実際の生産プロセス条件下でリアルタイムに収集された時間的・空間的 温度データの全体像を提供します。HighTempシリーズは、プロセスウィンドウやパターニング性能に影響を与 ...
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... WetTemp™ in situ ウェーハ 温度 測定 シス テムは、300mmと200mmの両方のコンフィギュレーションがあり、ウェットクリーンやその他のウェットプロセスのモニタリングをサポートします。WetTempシリーズのモニターウェーハは、ほとんどの枚葉式ウェットクリーンプロセス シス テムと互換性があり、ウェットクリーンツールの認定、ウェットクリーンプロセスの最適化、ウェットクリーン シス テムの性能向上を支援します。 アプリケーション プロセス開発, ...
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... in situ レチクル 温度 測定 シス テムは、電子ビーム・ライターおよび高温レチクル・プロセス・ ステップの認定およびモニタリングのためにマスク・ショップで使用されます。MaskTemp 2 は、マスクを完全に書き込むために必要な長時間（最大 24 時間）にわたって極端な 温度安定性が要求される電子ビームマスク描画装置の認定において重要な役割を果たします。電子ビームマスク描画装置内部で ...
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... SensArray® Automation in situ プロセス管理パッケージは、プロセスツールチャンバー 温度 測定の高速自動収集を提供すると同時に、ファブのスタートアップをサポートする半自動化機能も提供します。SensArray Automationパッケージには、すべての300mmワイヤレスSensArray製品と互換性のあるAS1000自動化ベース ステーション、オーバーヘッドトラック（OHT）互換FOUP、 シス テム自動化コントローラ、およびオフィスPCソフトウェアシートコンポーネントが含まれます。SensArray ...
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