温度測定システム SensArray®

自動工具

SensArray® Automation in situ プロセス管理パッケージは、プロセスツールチャンバー温度測定の高速自動収集を提供すると同時に、ファブのスタートアップをサポートする半自動化機能も提供します。SensArray Automationパッケージには、すべての300mmワイヤレスSensArray製品と互換性のあるAS1000自動化ベースステーション、オーバーヘッドトラック（OHT）互換FOUP、システム自動化コントローラ、およびオフィスPCソフトウェアシートコンポーネントが含まれます。SensArray FOUPは、フレキシブルなファブ展開のために2つの別々のSensArray製品をサポートすることができ、SPCチャートに直接データをポーティングすることで、生産FOUPと同じように処理することができます。SensArray Automation は生産性を向上させ、プロセスツールの可用性、エンジニアリングリソースの効率的な使用、ファブの MES データベースへのデータの集中保存を実現します。 アプリケーション プロセス開発、プロセス認定、プロセスツール監視、プロセスツール認定、チャンバーマッチング、プロセスツールマッチング