温度監視システム Process Probe™ 1730

プロセス制御用

プロセスプローブ™ 1730は、フォトレジストトラックシステム、温度制御ウェーハチャックシステム、オーブンアプリケーション、レジストベーク、ポリイミド、SOGアプリケーションにおいて、ウェーハ温度プロファイルの精密なその場特性評価を可能にします。プロセスプローブ1730は、エンジニアが歩留まり向上のためにプロセス装置の性能を向上させるために、プロセス条件の特性評価と微調整を行うのに役立ちます。 アプリケーション プロセス開発、プロセス認定、プロセスツール認定、プロセスツールマッチング リソグラフィートラックシステム、温度制御ウェハチャックシステム、オーブン｜-150～300°C