温度測定システム WetTemp™

ウェハー用

WetTemp™ in situ ウェーハ温度測定システムは、300mmと200mmの両方のコンフィギュレーションがあり、ウェットクリーンやその他のウェットプロセスのモニタリングをサポートします。WetTempシリーズのモニターウェーハは、ほとんどの枚葉式ウェットクリーンプロセスシステムと互換性があり、ウェットクリーンツールの認定、ウェットクリーンプロセスの最適化、ウェットクリーンシステムの性能向上を支援します。 アプリケーション プロセス開発, プロセス認定, プロセスツール監視, プロセスツール認定, プロセスツールマッチング 65個の温度センサーを内蔵し、9つの同心リングに均一に配置されたウェーハ温度モニタリングにより、ウェーハ表面のカバレッジを向上させ、ウェーハ全体にわたる豊富な空間温度データを提供します。ウェーハ厚さ1.2mmの枚葉式ウェーハプロセスに対応。 65個の温度センサーを9つの同心円状に配置したウェーハ温度モニター。ウェーハ厚さ1.2mmの枚葉式ウェーハプロセスに対応。 5つの同心リングに65個の温度センサーを集積し、147mmエリアに偏った密度で配置したウェーハ温度モニター。ウェーハ厚さ0.775mmの枚葉式ウェーハプロセスに対応。 5つの同心リングに65個の温度センサーを内蔵し、147mmエリアに偏った密度で配置したウェーハ温度モニター。ウェーハ厚さ1.2mmの枚葉式ウェーハプロセスに対応。