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... ベンチトップスタイラス プロファイラ は、市場をリードする Tencor P-17 ベンチトップスタイラス プロファイリングシステムの成功を基に開発されました。P-17 テクノロジーの優れた測定性能を、卓上型スタイラス プロファイラとして優れた価格対機能を提供するプラットフォームに搭載しています。Tencor P-7 スタイラス プロファイラでは、段差、粗さ、反り、応力の ...
KLA Corporation
... サイドビュー光学系、光学ズーム付き高解像度カメラにより、レシピのセットアップが迅速かつ簡単に行えます。Tencor P-17 スタイラス プロ フィ ロメ ータは、表面形状を定量化するための様々な フィルタリング、レベリング、解析アルゴリズムにより、2D または 3D 測定をサポートします。パターン認識、シーケンス、特徴検出により、完全自動測定が可能です。 - ...
KLA Corporation
... 高解像度カメラにより、レシピのセットアップが迅速かつ簡単に行えます。Tencor P-170は2Dおよび3D測定に対応し、表面形状を定量化するためのさまざまな フィルタリング、レベリング、デ ータ解析アルゴリズムが利用できます。自動ウェーハハンドリング、パターン認識、シーケンシング、特徴検出により、完全自動測定が可能です。 - ステップの高さナノ メートルから1000μm - 定荷重制御による低荷重：0.03～50mg - ...
KLA Corporation
... 向上させます。 ポイント・アンド・クリック・ステージコントロール、低倍率と高倍率の光学系、高解像度デジタルカメラにより、レシピのセットアップが迅速かつ簡単に行えます。 HRP®-260は、表面地形を定量化するためのさまざまな フィルタリング、レベリング、デ ータ解析アルゴリズムを備 えた2Dおよび3D 測定をサポートします。 自動ウェハハンドリング、パターン認識、シークエンシング、特徴検出により、完全に自動化された測定を実現します。 ...
KLA Corporation
... Zeta™-388非接触 プロファイラには、3D光学計測とイ メージング機能が搭載されており、統合されたアイソレーションテーブルとカセット・ツー・カセット・ウェハー・ハンドリング・システムにより、完全に自動化された測定が可能です。このシステムは、高解像度3Dデ ータとTrue Color無限焦点画像を同時に収集するZDot™テクノロジーを搭載しています。Zeta-388は、マルチモード光学系、使いやすいソフトウェア、低所有コスト、SECS/GEM通信により、研究開発環境と生産環境の両方をサポートします。 ...
KLA Corporation
... Alpha-Step D-600 スタイラス プロファイラでは、段差と粗さの 2D/ 3D 表面測定に加え、2D 反りと応力も測定できます。スタイラス プロファイラの革新的な光学式レバーセンサー技術により、高分解能測定、広い垂直測定範囲、低荷重測定が可能です。 スタイラス測定技術の利点は、材料特性に依存しない直接測定が可能なことです。力を調整したり、スタイラスを選択することで、様々な構造や素材の正確な測定が可能になります。このスタイラス測定オプションを使用すると、粗さと応力を測定することで、追加または除去 ...
KLA Corporation
... 特長 ステップハイトナノ メートル～1200μm 低荷重：0.03～15mg ビデオ5MP高解像度カラーカメラ 台形補正：サイドビュー光学系による歪みを除去 アーク補正：スタイラスの円弧運動による誤差を除去 コンパクトサイズ：卓上型スタイラス プロファイラとして最小のシステムフットプリント ソフトウェアユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェース ステップ高さの測定値をグラフ表示 アプリケーション ...
KLA Corporation
... でもあります。Zeta-20は、包括的なステップハイト、粗さ、膜厚測定、欠陥検査機能を提供することで、研究開発環境と生産環境の両方をサポートします。 特徴 ZDotとマルチモード光学系を搭載した使いやすい光学式 プロファイラ。 用途 ステップハイト：ナノ メートルからミリ メートルまでの3Dステップハイト テクスチャー滑らかな表面から非常に粗い表面までの3D粗さとうねり ...
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... コンパクトフレキシブルパワフル S lynxは、産業および研究用に開発された非接触3D表面 プロファイラの新製品です。多用途のコンパクトなシステムとして開発されました。S lynxは様々な表面スケールの異なる表面性状、構造、粗さ、うねりを測定できます。S lynxの多用途性により、幅広い範囲の高品質な表面測定に使用できます。Sensofar独自の3-in-1測定技術により理想的な性能が保証されています。また、関連するSensoSCANソフトウェアにより驚くほど直感的に使用でき、さらに高い性能を補完 ...
Sensofar Metrology
... S wideは、最大300×300mmの大面積サンプルでも素早く計測できる測定システムです。デジタルマイクロスコープと高分解能形状測定装置両方の長所を兼ね備え、ボタンひとつでデ ータを取得できる非常に使い易いデザインになっています。 ソリューション ワンショット 光学式3D形状測定システム - 高度な製造・加工 - 考古学・古生物学研究 - 大衆消費電化製品（CE） - 医療機器 - モールディング - 光学 - 時計 ...
Sensofar Metrology
... 新しい S neox は、性能、機能、効 率、デザインの全ての面で既存の 光学3D プロファイリング顕微鏡を 凌駕する、クラス最高の面形状計 測システムです。 さらに速く スマートでユニークな新しいアル ゴリズムとカメラにより、全てをさ らに速く実行できます。デ ータ取 得速度は 180fps で、標準測定 時間は5倍も短縮されました。新 しいS neoxは市場で最速の面形 状測定システムです。 使い易く Sensofarでは最高の性能・品質 ...
Sensofar Metrology
... 完全なアクセシビリティ S neox 5 軸 3D 光学式 プロファイラは、高精度の回転モジュールと S neox 3D 光学式 プロファイラの高度な検査・解析機能を組み合わせたものです。これにより、定義された位置での自動3D表面測定が可能となり、これらを組み合わせて完全な3D体積測定を作成することができます。 ...
Sensofar Metrology
... 高い柔軟性、クリーンルーム対応 S neox Cleanroom は、光学計測において前例のない技術的なマイルストーンです。生産環境において最高の汎用性を持ちます。 S neox Cleanroomは、4-in-1テクノロジーにより多機能性を極限まで高め、さまざまなアプリケーション要件に比類のない適合性と、あらゆる表面に最大限の測定柔軟性をもたらします。 S neox は、ISO クラス 1 および ESD 対応という厳しいテストに合格するために注意深く設計されています。 また、ピエゾ式Zモータをオプションで追加することにより、S ...
Sensofar Metrology