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KLAのスタイレットプロフィロメータ
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... ベンチトップ スタイラス プロファイラ は、市場をリードする Tencor P-17 ベンチトップ スタイラス プロファイリングシステムの成功を基に開発されました。P-17 テクノロジーの優れた測定性能を、卓上型 スタイラス プロファイラとして優れた価格対機能を提供するプラ ットフォームに搭載しています。Tencor ...
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... 簡単に行えます。Tencor P-17 スタイラス プロ フィ ロメ ータは、表面形状を定量化するための様々な フィルタリング、レベリング、解析アルゴリズムにより、2D または 3D 測定をサポートします。パターン認識、シーケンス、特徴検出により、完全自動測定が可能です。 - ステップの高さナノ メートルから1000μm - ...
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... 、HRP®-260の生産実績のあるハンドラーを搭載したカセ ット・ツー・カセ ット・ プロファイラです。この組み合わせは、半導体、化合物半導体、および関連業界向けのハンドラーベースのシステムとして、低所有コストのソリューションを提供します。Tencor P-170は、段差、粗さ、反り、応力の2Dおよび3D測定に対応し、ステッチなしで最大200mmまでのスキャンが可能です。 ウルトラライト®センサー、コン スタン トフォースコントロール、ウルトラフラ ットスキャンステージの組み合わせにより、優れた測定安定性を実現 ...
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... ®-260は、カセ ット間の高分解能 スタイラス・ プロファイラです。 HRPは、半導体、化合物半導体、高輝度 LED、デ ータストレージおよび関連産業に対応する自動ウェハハンドリング機能により、生産実績のある性能を提供します。 P-260 構成は、ステッチなしで最大 200mmのスキャンに対して、ステップ高さ、粗さ、弓、および応力の2Dおよび3D 測定をサポートします。 ...
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... Alpha-Step D-600 スタイラス プロファイラでは、段差と粗さの 2D/3D 表面測定に加え、2D 反りと応力も測定できます。 スタイラス プロファイラの革新的な光学式レバーセンサー技術により、高分解能測定、広い垂直測定範囲、低荷重測定が可能です。 スタイラス測定技術の利点は、材料特性に依存しない直接測定が可能なことです。力を調整したり、 スタイラスを選択することで、様々な構造や素材の正確な測定が可能になります。この スタイラス測定オプションを使用すると、粗さと応力を測定することで、追加または除去 ...
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... 特長 ステップハイトナノ メートル~1200μm 低荷重:0.03~15mg ビデオ5MP高解像度カラーカメラ 台形補正:サイドビュー光学系による歪みを除去 アーク補正: スタイラスの円弧運動による誤差を除去 コンパクトサイズ:卓上型 スタイラス プロファイラとして最小のシステムフ ットプリント ...
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