KLAのプロフィロメータ

... ベンチトップスタイラス プロファイラ は、市場をリードする Tencor P-17 ベンチトップスタイラス プロファイリングシステムの成功を基に開発されました。P-17 テクノロジーの優れた測定性能を、卓上型スタイラス プロファイラとして優れた価格対機能を提供するプラットフォームに搭載しています。Tencor P-7 スタイラス プロファイラでは、段差、粗さ、反り、応力の ...

... サイドビュー光学系、光学ズーム付き高解像度カメラにより、レシピのセットアップが迅速かつ簡単に行えます。Tencor P-17 スタイラス プロ フィ ロメ ータは、表面形状を定量化するための様々な フィルタリング、レベリング、解析アルゴリズムにより、2D または 3D 測定をサポートします。パターン認識、シーケンス、特徴検出により、完全自動測定が可能です。 - ...

... 高解像度カメラにより、レシピのセットアップが迅速かつ簡単に行えます。Tencor P-170は2Dおよび3D測定に対応し、表面形状を定量化するためのさまざまな フィルタリング、レベリング、デ ータ解析アルゴリズムが利用できます。自動ウェーハハンドリング、パターン認識、シーケンシング、特徴検出により、完全自動測定が可能です。 - ステップの高さナノ メートルから1000μm - 定荷重制御による低荷重：0.03～50mg - ...

... 向上させます。 ポイント・アンド・クリック・ステージコントロール、低倍率と高倍率の光学系、高解像度デジタルカメラにより、レシピのセットアップが迅速かつ簡単に行えます。 HRP®-260は、表面地形を定量化するためのさまざまな フィルタリング、レベリング、デ ータ解析アルゴリズムを備 えた2Dおよび3D 測定をサポートします。 自動ウェハハンドリング、パターン認識、シークエンシング、特徴検出により、完全に自動化された測定を実現します。 ...

... Zeta™-388非接触 プロファイラには、3D光学計測とイ メージング機能が搭載されており、統合されたアイソレーションテーブルとカセット・ツー・カセット・ウェハー・ハンドリング・システムにより、完全に自動化された測定が可能です。このシステムは、高解像度3Dデ ータとTrue Color無限焦点画像を同時に収集するZDot™テクノロジーを搭載しています。Zeta-388は、マルチモード光学系、使いやすいソフトウェア、低所有コスト、SECS/GEM通信により、研究開発環境と生産環境の両方をサポートします。 ...

... Alpha-Step D-600 スタイラス プロファイラでは、段差と粗さの 2D/3D 表面測定に加え、2D 反りと応力も測定できます。スタイラス プロファイラの革新的な光学式レバーセンサー技術により、高分解能測定、広い垂直測定範囲、低荷重測定が可能です。 スタイラス測定技術の利点は、材料特性に依存しない直接測定が可能なことです。力を調整したり、スタイラスを選択することで、様々な構造や素材の正確な測定が可能になります。このスタイラス測定オプションを使用すると、粗さと応力を測定することで、追加または除去 ...

... 特長 ステップハイトナノ メートル～1200μm 低荷重：0.03～15mg ビデオ5MP高解像度カラーカメラ 台形補正：サイドビュー光学系による歪みを除去 アーク補正：スタイラスの円弧運動による誤差を除去 コンパクトサイズ：卓上型スタイラス プロファイラとして最小のシステムフットプリント ソフトウェアユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェース ステップ高さの測定値をグラフ表示 アプリケーション ...

... でもあります。Zeta-20は、包括的なステップハイト、粗さ、膜厚測定、欠陥検査機能を提供することで、研究開発環境と生産環境の両方をサポートします。 特徴 ZDotとマルチモード光学系を搭載した使いやすい光学式 プロファイラ。 用途 ステップハイト：ナノ メートルからミリ メートルまでの3Dステップハイト テクスチャー滑らかな表面から非常に粗い表面までの3D粗さとうねり ...