STEINMEYERの多軸配置システム

繰返し精度: 1 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... ダイナミックなアプリケーションに最適 - 1300 x 800 mmの非常に広い移動範囲 - 高加速度・高速度と高精度の両立 このガントリーは、1300 x 800 mmの領域で、非常にダイナミックな動きを可能にします。カスタマイズされた加工ヘッドやZ軸のセンサーは、グラナイト上のキャリア上を素早く、スムーズに移動します。プロファイルされたレールガイドは、花崗岩に直接取り付けられており、サブミクロンの再現性の高い結果を得るために最適な走行特性を提供します。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
積載量: 5 kg - 20 kg
ストローク: 100 mm - 720 mm

... 同時に統合することが可能 クリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動計測できる検査システムです。高いダイナミクスと最高の再現性を実現しています。片側1台の高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。 仕様 - ストローク：720×720×100mm×各2本 - X軸：各2本（25kgまでのスキャナー/顕微鏡用 - ...

繰返し精度: 0.005 µm - 4.4 µm
積載量: 5 kg - 25 kg
ストローク: 100 mm - 365 mm

... 8軸位置決めシステム / ゴニオメーター カスタマイズ可能 - 様々な角度から8軸の検査を自動化 - カメラ/センサー/照明を共通の中心点を中心に旋回させる同軸回転システム - ディスプレイの検査に最適 8軸の位置決めシステムにより、さまざまな形状のサンプルや部品の分析・検査が可能です。カメラ／センサーは、試料を挟んで傾けたり、高さを調整したりすることが可能です。また、サンプルキャリアを測定面に対して平行に傾けることで、サンプルの個体差を補正することが可能です。XY ...

繰返し精度: 0.001 µm - 4.4 µm
ストローク: 1.5 mm - 100 mm
速度: 0.4 mm/s - 1,400 mm/s

... オフセットを補正 - ビームライン開口部45 mm - 0.0005°までの精度を実現するエアベアリングロータリーステージ この位置決めシステムは、6自由度のタンジェンシャルスキャンを非常に高い再現性で可能にします。焦点、角度、距離が調整可能なサンプルホルダーは、4軸の傾きと横方向のオフセットを補正するアパーチャー付きXYZファイデルタアライナー上に設置されています。 仕様 - ...

積載量: 0 g - 2,000 g
ストローク: 3 mm - 4 mm
速度: 0.4 mm/s - 5 mm/s

... MP200-3 小型Z-Phiデルタ位置決めシステム、三脚 5自由度調整が可能なMP200-5アライナーに加え、3自由度調整を可能にしたアライナーです。内部は3つの垂直方向に作用する精密軸で構成されており、これらの軸はソリッドジョイントによって可動ロードプレートに接続されています。そのため、ロードプレートは2軸で傾けることができ、高さも調整できる。 ワークピースのアライメントは多くの場合十分であるため、特に光学部品の組み立てでは、高さの異なるレンズパッケージの補正に垂直方向の調整を使用することができます ...

繰返し精度: 0.001 µm - 0.7 µm
積載量: 500 kg
ストローク: 10 mm - 10 mm

... -Phi位置決めシステム ピエゾモータ搭載Phi-XYシステム XY移動、回転用の小型マニピュレーターです。直線移動は10mm、回転は±5°です。ピエゾドライブによりnm単位の極めて高い分解能を実現。回転は、フレキシブルカップリングによって回転ベアリングに作用するリニアステージによって実現されます。 アライメント用固定ジョイント 3軸システムは、部品やサンプルの位置合わせを目的としています。このような修正動作には、数ミリメートルまたは数度の小さな経路で十分であるため、リニアステージが、ソリッドステートジョイント ...

繰返し精度: 0.001 µm - 3.5 µm
積載量: 6.5 kg
ストローク: 4 mm - 20 mm

... XYZ-θ-Phi-δ位置決めシステム（クリーンルームISO 5） カスタマイズ可能 - 最大300 mm / 12 "までのウェハーおよび光学部品の自動検査に最適 - 2.5μmまたは±0.005°の高い繰り返し精度 - 520 x 600 x 155 mmの卓越した精度、剛性、コンパクト性 - クリーンルームクラスISO 5までの3シフト運転に対応した設計 6軸マニピュレーターは、水平軸にXYステージ、垂直軸に三脚と2つのチルトを備え、直交運動と平行運動の長所を1つのシステムで実現しています。 仕様 ...