8 軸配置システム

繰返し精度: 0.005 µm - 4.4 µm
積載量: 5 kg - 25 kg
ストローク: 100 mm - 365 mm

... 8軸位置決めシステム / ゴニオメーター カスタマイズ可能 - 様々な角度から8軸の検査を自動化 - カメラ/センサー/照明を共通の中心点を中心に旋回させる同軸回転システム - ディスプレイの検査に最適 8軸の位置決めシステムにより、さまざまな形状のサンプルや部品の分析・検査が可能です。カメラ／センサーは、試料を挟んで傾けたり、高さを調整したりすることが可能です。また、サンプルキャリアを測定面に対して平行に傾けることで、サンプルの個体差を補正することが可能です。XY ...

繰返し精度: 0.001 µm - 4.4 µm
ストローク: 1.5 mm - 100 mm
速度: 0.4 mm/s - 1,400 mm/s

... カスタマイズ可能： - 多彩な調整オプションでタンジェンシャルスキャンに最適 - 最大0.5 µmまでの傾きと横方向のオフセットを補正 - ビームライン開口部45 mm - 0.0005°までの精度を実現するエアベアリングロータリーステージ この位置決めシステムは、6自由度のタンジェンシャルスキャンを非常に高い再現性で可能にします。焦点、角度、距離が調整可能なサンプルホルダーは、4軸の傾きと横方向のオフセットを補正するアパーチャー付きXYZファイデルタアライナー上に設置されています。 仕様 - ...

... TELICAは、主に半導体バックエンドアプリケーション専用の多軸プラットフォームです。 デュアルガントリアーキテクチャは、X、Y、Z の 3 つの自由度 (X、Y、Z) に沿ったモーションを提供し、合計で 8 つの制御軸です。 この製品は、高度なダイボンディングプロセス（フリップチップ、ファンアウト、3Dスタックパッケージ）、µ-LEDボンディング、ディスペンシングアプリケーションなどの最も困難な要件を満たすように設計されています。 設計上、従来のモーションシステムアーキテクチャは、高い位置決め精度または高いスループットのために最適化されています。 ...

繰返し精度: 2.5 µm

... あらゆる角度から微小画素を高精度に検査することが可能 高精度位置決めシステムにより、検査対象のディスプレイをXYステージ上で移動させ、お客様専用のカメラまたはセンサーを設置します。カメラ／センサーはいずれも首振りや高さ調整が可能です。さらに、個々の検査対象物の違いを補正するために、検査対象のディスプレイを測定面に対して平行に傾けて位置合わせをすることもできます。ディスプレイのXY Rz方向の位置決めにより、カスタマイズされたカメラで、空間放射挙動のどの角度からでも各画素を評価することができます。 ...

繰返し精度: 2.5 µm

... 分析・検査用8軸位置決めシステム｜XYZ DCモーター、ボールネジ｜Phi Theta Omega DCモーター、ACサーボ、ハーモニックドライブ 8方向から高精細な検査が可能 様々なサンプル形状や部品の解析・検査を可能にする8軸位置決めシステムです。カメラ／センサーはいずれも試料の上に傾けて高さを調整することが可能です。また、試料の個体差を補正するために、試料台を測定面に対して平行に傾けて立てることができます。XY Rz位置決めにより、カスタマイズされたカメラによる空間放射パターンにおいて、試料を任意の角度から評価することができます。 ...