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分解能: 0.7, 1, 0.6 nm
... 走査型電子顕微鏡によるナノ材料のサブナノメートルの分解能と高い材料コントラストによる特性評価。 Verios 5 XHR 走査型電子顕微鏡 Verios 5 XHRは、1 keVから30 keVの全エネルギー範囲においてサブナノメートルの分解能と優れた材料コントラストを有するSEMです。自動化と使いやすさの追求により、あらゆるレベルのユーザーがこの性能を利用できるようになりました。 走査型電子顕微鏡による特性評価 - UC+単色電子源による高分解能ナノマテリアルイメージングは、1-30 kVでサブナノメートルの性能を発揮します。 - ...
... ピエゾフォーカスナノ位置決めアクチュエータはMIPOSシリーズに属し、マイクロ対物レンズと対物レンズのスリムな調整、またはノーズピース全体の調整（MIPOS N100）のために設計されています。 これらのアクチュエータの特長は、コンパクトなフットプリントと優れた共振周波数を備えた平行四辺形デザインです。 光学ビーム内で平行な動きを提供し、顕微鏡に容易に取り付けることができ、幅広い顕微鏡やその他の光学系と互換性があります。 顕微鏡のスリム調整のための費用対効果の高いソリューションです。 MIPOSシステムを顕微鏡に接続するのは非常に簡単です。顕微鏡でFlex-Adapterスレッドをねじ込んで、このリングにMIPOSをクランプネジで置くだけです。 ...
分解能: 0.02 µm
... 製品概要
原子間力顕微鏡（ウェハレベルAFM）は、高解像度の走査型プローブ装置で、導体・半導体・絶縁体のウェハスケールにおける三次元表面形状および多機能特性を自動プローブアプローチと高精度な位置決めで評価するために設計されています。
特長
- 高度な多機能試験：ヤング率、付着力、磁区イメージング、表面電位、仕事関数などの物理量の測定が可能です。
- 適応可能な環境：培養皿や加熱ステージなどのアクセサリに対応；空気および液相での測定、浸漬や高温環境での動作に対応します。
- インテリジェントなプローブアプローチ：圧電走査チューブによるワンキー自動プローブ挿入。
- サンプルサイズの適応性：12インチウェハの取り扱いに対応し、8、6、4インチウェハおよび破片サンプルと互換性があります。
技術指標
- ノイズレベル