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到達真空度 : 0.03 mbar
流量: 85, 70 m³/h
出力: 4, 2.6, 4.4, 3.2 kW
... 厳しい要件のプロセス向けの新世代ドライ真空ポンプ 高い性能 高度なスクリュー設計、優れた運転品質、CVD、ラピッドサーマルプロセス、ALDに最適 高効率性 所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイム、効率的な間接水冷方式、優れた水素処理能力 コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター ...
到達真空度 : 0.03 mbar
流量: 160, 140 m³/h
出力: 6.6, 5.2, 5.5, 4.3 kW
... 厳しい要件のプロセス向けの新世代ドライ真空ポンプ 高い性能 高度なスクリュー設計、優れた運転品質、CVD、ラピッドサーマルプロセス、ALDに最適 高効率性 所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイム、効率的な間接水冷方式、優れた水素処理能力 コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター ...
到達真空度 : 0.01 mbar
流量: 600 m³/h
出力: 15, 9 kW
... 厳しい要件のプロセス向けの新世代ドライ真空ポンプ 高い性能 高度なスクリュー設計、優れた運転品質、CVD、ラピッドサーマルプロセス、ALDに最適 高効率性 所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイム、効率的な間接水冷方式、優れた水素処理能力 コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター ...
到達真空度 : 0.01 mbar
流量: 110 m³/h
... シリーズは、ウェーハハンドリング、PVD、計測などのライトデューティー用途向けの低エネルギーのコンパクトドライポンプです。 チャンバーの高速排気と非常に低い電力使用 iXL600 (N) およびiXL1000 (N) ドライポンプは、ライトデューティー用途向けの最小で最も静かなポンプです。 iXL600MおよびiXL1000Mタイプは、プロセス強化され、絶縁体（酸化物）エッチングおよび他の同様のアプリケーション向けに特別設計されています。 iXL600 ...
到達真空度 : 0.03 mbar
流量: 100 l/min
出力: 350, 200 W
... 1.世界初の磁気浮上式スクロール真空ポンプ 2.100%オイルフリー、メンテナンスフリー、クリーンな真空環境 3.真空ポンプの最大排気速度は100 L/minです。 4.最大真空度は1.5Pa以下 5.小型・軽量でポータブル機器に最適な真空装置です。 6.応用分野：科学分析機器（質量分析計、タンククリアラー）、実験室機器（実験室用凍結乾燥機）、分子ポンプのフォアラインポンプ、プラズマクリーナーなど。 ホッカイドウ真空技術(国際)グループは、真空ポンプのメーカーとして、創業以来、産業用真空技術の発展をリードしてきました。 ...
Dongguan Yazreid Electromechanical Technology Ltd
到達真空度 : 0.1 mbar
流量: 100 l/min
出力: 200, 350 W
... 1.世界初の磁気浮上式スクロール真空ポンプ 2.100%オイルフリー、メンテナンスフリー、クリーンな真空環境 3.真空ポンプの最大排気速度は100 L/minです。 4.最大真空度は1.5Pa以下 5.小型・軽量でポータブル機器に最適な真空装置です。 6.応用分野：科学分析機器（質量分析計、タンククリアラー）、実験室機器（実験室用凍結乾燥機）、分子ポンプのフォアラインポンプ、プラズマクリーナーなど。 ホッカイドウ真空技術(国際)グループは、真空ポンプのメーカーとして、創業以来、産業用真空技術の発展をリードしてきました。 ...
Dongguan Yazreid Electromechanical Technology Ltd
到達真空度 : 1 mbar
流量: 100 l/min
出力: 350, 200 W
... 1.世界初の磁気浮上式スクロール真空ポンプ 2.100%オイルフリー、メンテナンスフリー、クリーンな真空環境 3.真空ポンプの最大排気速度は100 L/minです。 4.最大真空度は1.5Pa以下 5.小型・軽量でポータブル機器に最適な真空装置です。 6.適用分野：科学分析機器（質量分析計、タンククリアラー）、実験室設備（実験室用凍結乾燥機）、分子ポンプのフォアラインポンプ、プラズマクリーナーなど。 ホッカイドウ真空技術(国際)グループは、真空ポンプのメーカーとして、創業以来、産業用真空技術の発展をリードしてきました。 ...
Dongguan Yazreid Electromechanical Technology Ltd
到達真空度 : 0.6 Pa
流量: 4 l/min
出力: 2.4 kW
... ドライ真空ポンプ MS シリーズ MSシリーズは、スクリュー式ドライ真空ポンプに分類される真空ポンプです。 従来のLSシリーズをベースに耐腐食性、粉体排気性を向上させたプロセス耐性モデルです。腐食性ガスの使用や粉体排気の工程を想定したモデルです。 特長 ローターシャフト、シリンダー等の主要部品に特殊コーティングを施し、耐腐食性を向上。 アルバック独自設計のローターシャフトを採用し、粉体排気性能に優れています。 大気圧付近での連続圧送が可能。 特徴・用途 半導体・電子デバイス製造装置用真空システム エッチング、アッシング、プラズマ洗浄など 炉用真空システム 焼結、浸炭など リチウムイオン電池製造装置用真空システム 電極乾燥、脱ガス、真空封入など 医療・食品用真空システム 凍結乾燥、真空乾燥など ...