プラズマ真空ポンプ

到達真空度 : 0.01 mbar
流量: 110 m³/h

iXLシリーズは、ウェーハハンドリング、PVD、計測などのライトデューティー用途向けの低エネルギーのコンパクトドライポンプです。 チャンバーの高速排気と非常に低い電力使用 iXL600 (N) およびiXL1000 (N) ドライポンプは、ライトデューティー用途向けの最小で最も静かなポンプです。 iXL600MおよびiXL1000Mタイプは、プロセス強化され、絶縁体（酸化物）エッチングおよび他の同様のアプリケーション向けに特別設計されています。 ...

到達真空度 : 0.03 mbar
流量: 85 m³/h

... COBRA DS 0080/0160 G 高度なスクリュー設計 効率的： 費用対効果の高い、最小限のメンテナンス、高稼働時間 フレキシブル： アプリケーション指向の 短い処理時間： 高いポンプ速度に起因する 堅牢な： 内部コンポーネント上の耐腐食コーティング コンパクト設計 COBRA DS 0080/0160 Gは実績のあるCOBRA DSシリーズのドライスクリュー真空ポンプ。 高い水素スループットが要求される条件下でも高いポンプ速度により、COBRA DSスクリュー真空ポンプは、太陽光電池、フラットスクリーン、半導体の製造におけるあらゆる要求の厳しいプロセスに最適です。 ...

到達真空度 : 0.03 mbar
流量: 160 m³/h

... COBRA DS 0080/0160 G 高度なスクリュー設計 効率的： 費用対効果の高い、最小限のメンテナンス、高稼働時間 フレキシブル： アプリケーション指向の 短い処理時間： 高いポンプ速度に起因する 堅牢な： 内部コンポーネント上の耐腐食コーティング コンパクト設計 COBRA DS 0080/0160 Gは実績のあるCOBRA DSシリーズのドライスクリュー真空ポンプ。 高い水素スループットが要求される条件下でも高いポンプ速度により、COBRA DSスクリュー真空ポンプは、太陽光電池、フラットスクリーン、半導体の製造におけるあらゆる要求の厳しいプロセスに最適です。 ...

到達真空度 : 0.01 mbar
流量: 600 m³/h

... COBRA DS 0600 E 先進的なスクリュー設計 効率的： 低運用コスト、最小限のメンテナンス、高稼働時間 柔軟性： アプリケーション指向の 短い処理時間： 高いポンプ速度のために コンパクト設計 COBRA DS 0600 Eは、実績のあるCOBRA DSシリーズのドライスクリュー真空ポンプです。 高い水素スループットが要求される条件下でも高いポンプ速度により、COBRA DSスクリュー真空ポンプは、太陽光電池、フラットパネル、半導体の製造におけるあらゆる要求の厳しいプロセスに最適です。 ...

到達真空度 : 0 mbar
流量: 930 m³/h

効率性： 優れたコスト効率、アップタイム、エネルギー効率 整備しやすさ： 長い整備間隔 信頼性： 動作信頼性 フレキシブル： 用途重視 静か： 騒音値 ≤ 62 dB(A) COBRA BC 1000 FおよびBC 2000 Fは、定評のあるCOBRA BCシリーズのドライスクリュー式真空ポンプです。これらのポンプは、高い排気速度と優れた水素排気性能から、要求の厳しいソーラー、フラットパネル、半導体でご利用いただけます。COBRA真空ポンプは、オイルフリーの非接触式で、副生成物耐性に優れています。 COBRA ...

到達真空度 : 0 mbar
流量: 1,580 m³/h

効率性： 優れたコスト効率、アップタイム、エネルギー効率 整備しやすさ： 長い整備間隔 信頼性： 動作信頼性 フレキシブル： 用途重視 静か： 騒音値 ≤ 62 dB(A) COBRA BC 1000 FおよびBC 2000 Fは、定評のあるCOBRA BCシリーズのドライスクリュー式真空ポンプです。これらのポンプは、高い排気速度と優れた水素排気性能から、要求の厳しいソーラー、フラットパネル、半導体でご利用いただけます。COBRA真空ポンプは、オイルフリーの非接触式で、副生成物耐性に優れています。 COBRA ...