プロセス計測用ガスセンサー

... 概要
Gasboard-2061 は、タングステン CVD（WCVD）成膜チャンバー内での WF6 濃度のリアルタイム測定およびエンドポイント検出（EPD）向けに設計された NDIR WF6 ガスセンサーです。真空およびプロセス条件下で高感度かつ再現性のある測定を提供し、正確なエンドポイント表示と洗浄ガス使用量の低減に寄与します。

設計と統合
コンパクトでモジュラー設計の Gasboard-2061 は、真空プロセスラインへの容易な取り付けを想定しています。316L ...

測定範囲(ppm): 0 unit - 1,500 unit

... NDIR技術に基づいたSF6センサーSF6-015は、SF6ガス漏れを監視するために開発されました。周囲のSF6ガス濃度のリアルタイムオンラインモニタリングに適しています。高精度、長期安定性、高速応答で、ガス分析産業、ガス絶縁開閉装置、工業プロセス制御、発電所、高圧変圧器などの分野で広く使用されています。 特徴 1.NDIR（非分散赤外線）技術 2.全使用温度・濃度範囲において高精度 3.選択性が高く、クロスガス干渉や被毒がない 4.高速応答 T90<30s (拡散) 5.自動ベースライン校正、低ドリフト 6.Modbus-RTUとTTL/OCデジタル出力 7.10年以上の寿命 仕様 - ...

... 製品概要
Gasboard-2060はNDIR技術を用いたSiF4ガスセンサーで、シリコン系CVD堆積装置のチャンバー洗浄におけるエンドポイント検出（EPD）をリアルタイムで行うために設計されています。専用のガスセルと光学系を統合し、チャンバー洗浄プロセスにおけるSiF4濃度を選択的に測定します。Gasboard-2060は高速な応答でSiF4濃度を報告し、アナログ／デジタルインターフェースを通じてプロセス制御システムに統合できます。

特長

• SiF4測定に最適化されたNDIR検出。
• 洗浄エンドポイントの精密判定を可能にする高速応答（T90＜2s）。
• 低ゼロドリフトと高い再現性による安定出力。
• 設置・保守が容易なモジュラーかつコンパクトな設計。
• アナログ（1–10VDC）およびデジタル（RS232）出力、サンプリングポート：KF16。

... 製品概要
Gasboard-2061は、タングステンCVD（WCVD）チャンバーの洗浄エンドポイント検出向けに設計されたNDIR方式のWF6ガスセンサーです。プロセス条件下でWF6濃度を高感度かつ安定的に計測し、洗浄の終了判定をリアルタイムで行うことで、洗浄時間の短縮、過剰なガス使用の抑制、チャンバー摩耗の低減に寄与します。

Gasboard-2061はコンパクトでモジュール式の設計により取り付けが容易です。アナログ／デジタルの入出力を備え、較正・調整が可能でプロセス制御システムへの統合が容易です。

特長

• WF6監視に最適化されたNDIR測定方式。
• 濃度変化をリアルタイムで追跡する高速応答。
• 低ゼロドリフトと高い再現性による安定した測定。
• 真空環境での運用に適した密封設計。
• 腐食性のあるプロセス環境に耐える316L製構造。
• 統合・保守に対応するアナログ／デジタルI/O。

測定範囲(ppm): 0 unit - 10,000 unit

... 製品紹介 Gasboard-2520シリーズはキュービックインスツルメンツ（武漢）有限公司が独自に開発した高性能ガス分析センサーモジュールです。チューナブルダイオードレーザー（TDL）吸収分光法をベースとし、高性能プローブと特殊なプロセスガルチャンバーを使用しています。それは高精度、高感度、強力な抗干渉能力、長寿命、安定した性能の特性を持っています。 プロダクトはモジュール設計を採用し、取付けることは容易です。製品は、RS-232/485通信インターフェイスを介して校正することができます。一定した温度の設計は効果的にセンサーへの温度変化の影響を避け、粗い労働条件および複雑なガス環境で固定して働くことができます。 特徴 強力な干渉防止能力狭帯域レーザースペクトル吸収技術を使用し、ユニークな選択性を持ち、他のガス、湿度、ほこりなどの干渉を受けません。 高速応答、高精度測定、長寿命。 マルチレンジオプション、フルレンジリニアライズ、デジタル出力。 低消費電力、モジュール設計、統合が容易。 仕様 応答時間<30s 働く温度: ...

測定範囲(ppm): 0 unit - 100 unit

... 製品紹介 Gasboard-2601は非分散赤外線（NDIR）技術の原理に基づき、ガスフィルター相関（GFC）赤外線吸収技術を採用した高性能ガス分析センサーです。サンプルガスと基準ガスの吸収度を比較することにより、測定ガスの濃度はランベルト・ビア則の吸収関係に従って計算され、基準ガス室を通して、ガスの干渉による検出誤差は効果的に除去されます。本製品は信頼性の高い安定した光源、高性能検出器及び精密信号処理回路を採用し、測定精度が高く、干渉防止能力が強く、長期安定性があります。 特徴 GFC赤外線吸収技術、狭帯域フィルタリング構造により、良好な干渉防止性能 0-50ppm以下のCO/CO2/CH4/N2Oガスを検出可能 小さなドリフト、高い安定性、外部環境の影響を受けにくい、TEC冷凍、自己設定PID定温制御を使用することにより、頻繁に校正する必要はありません。 長寿命光源と信頼性の高いフィルターガスシール技術により、作業の長期安定性を満たす。 独立したガス検出モジュール設計、豊富なインターフェイス、拡張と統合が容易 仕様 測定ガス: ...

測定範囲(ppm): 0 unit - 20 unit

... 製品概要
ドイツ製のBR1臭素センサーは、微多孔膜で覆われたアンペロメトリック（ポテンショスタティック）3電極式の測定器です。遊離臭素（HOBr）およびBCDMHの測定に対応し、飲料水、プール水、サービス用水、プロセス水、海水に適しています。自動温度補償、複数の出力バージョン、IP65/IP68の保護等級を選択可能で、ゼロ点調整は不要です。校正はDPD1/DPD4法で行えます。EMC試験合格およびRoHS準拠で、長期安定性を保つために週次の信号確認と定期的なメンテナンスが推奨されます。

主な特徴

• pH依存性が大幅に低減
• 界面活性剤に対する耐性
• 二酸化塩素、塩素、亜塩素酸塩への交差感度なし
• 自動温度補償（温度センサー内蔵）
• ゼロ点調整不要
• EMC試験合格およびRoHS準拠

• 飲料水
• プール水
• サービス用水
• プロセス水
• 海水

• 測定水の最高温度：45

... 六フッ化硫黄は、微量ガス、保護ガス、絶縁ガスとして、現在でも多くの用途で不可欠である。六フッ化硫黄は温室効果が高いため、責任を持って取り扱うことが重要です。マイクロフローSF6.100Vol.-%センサーは精度と信頼性が要求される幅広い用途に適しています。 適用分野 産業分野SF6はシリコン、二酸化シリコン、その他の化合物などの半導体材料に精密なパターンを形成するプラズマエッチングプロセスに使用されます。このガスは特殊なエッチングチャンバーで使用され、高周波エネルギーを加えることでプラズマに変換される。このプラズマは材料と選択的に反応し、非常に制御された正確なプロセスで材料の精密な彫刻や除去を可能にする。 アルミニウムの生産では、六フッ化硫黄がトレーサーガスとして使用され、生産工程の効率向上と潜在的な問題の早期発見に役立っている。また、最終製品の品質と一貫性を監視するためにも使用される。 エネルギー技術：電力供給の分野では、SF6は高圧開閉器や変圧器の絶縁ガスや冷却媒体として使用されている。六フッ化硫黄の測定は、漏れを早期に発見し、システムの状態を監視するために重要である。 測定精度 当社のNDIRガスセンサーは六フッ化硫黄の測定とモニタリングにおいて正確な結果を達成します。10ポイントリニアライゼーションにより、測定ガス濃度の最大偏差は100体積％までの全測定範囲で1％未満です。 ...

... なぜEC Sense DGM10ダブルガスモジュールを使うのですか？ DGM10ダブルガスモジュールは、温度と湿度だけでなく、2つのガスを同時に検知することができます。最先端の検知装置とデジタルモドバス信号出力が1つの洗練された回路基板に組み合わされた完璧な組み合わせです。モジュールは高信頼性の固体高分子電気化学センサー技術に基づいています。デュアルガスセンサモジュールは小さなセンサ信号を標準化されたデジタル出力に変換します。そのため、DGM10センサーモジュールはお客様のアプリケーションにとって使いやすいソリューションとなります。 なぜEC ...

測定範囲(ppm): 0 unit - 1,000 unit
測定範囲(%): 0 % - 25 %

... 概要
EC SenseのデジタルガスセンサーモジュールDS4は、印刷固体高分子電解質を用いた電気化学式センサーに基づく、コンパクトで低消費電力のモジュールです。産業用途、IoT、携帯型アプリケーション向けに設計されており、マイクロプロセッサ、 高精度ADC、オンボードアルゴリズムを統合して、低メンテナンスでの連続監視を実現します。出荷時に工場校正済みで、予熱は不要です。

技術
DS4は、多孔質膜の背面に配置された三電極（貴金属）を持つ、固体化した電解質を用いた印刷型電気化学セルを採用しています。固体ポリマーデザインにより液漏れリスクが低減され、高湿度や極端な温度環境での安定性と寿命が向上します。ガスの拡散により、濃度に比例した電流が発生します。

主要機能

• 内蔵マイクロプロセッサ、高精度ADC、組込みアルゴリズム
• 動作電圧：3.3–12