電子銃用真空蒸発器

... 概要
LEYBOLD OPTICS LTE seriesは、リフトオフ金属化と組み合わせたナノスケールの構造形成向けに設計されたロングスロー真空蒸着装置です。半導体製造や研究開発向けに最適化され、ほぼ垂直な方向性蒸着で高い膜均一性を実現します。

主な利点

• 最適なコーティング品質：構造化ウェーハ上での高精度コーティング、影響（シャドウ）を最小化し高度な3Dパターンを実現。
• サービスと専門知識：Leybold Optics

... Dexinmagの物理蒸着（PVD）装置は、物理プロセス（蒸着、スパッタリング、イオンビームなど）を使用して、材料源から基板表面への原子または分子の移動を可能にし、薄膜やナノ/マイクロ構造コーティングの作成を可能にします。 PVDコーティングの利点

• シンプル - 化学反応を伴わず、原子/分子の物理的な移動のみ
• 制御可能 - 成膜速度と膜厚は、温度、角度、距離、電力、およびその他のパラメータによって制御可能

... 概要

• DXD-500電子ビーム蒸着コーティング装置は、導電膜、半導体膜、強誘電膜、光学薄膜の作製を目的として設計されています。大学や研究機関での科学研究および小ロット生産向けです。

• 本システムは、蒸着真空チャンバー、E形電子銃、加熱蒸着電極、基板加熱回転板、作動ガス回路、ポンプシステム、真空測定および電子制御システム、据付機器および関連付属品で構成されています。

• 型式：DXD-500
• 構造：前面扉付きのU形ケースを採用し、背面にポンプシステムを配置。
• 真空チャンバー内寸：500

... DXMC-500Aは、金属（耐火金属を含む）および一部の酸化物の蒸発蒸着に用いる電子ビームPVD装置です。270°偏向の電子ビーム、プラズマグロウ放電洗浄、統合プロセス制御を備え、研究室および軽工業用途に適しています。

主な技術パラメータ

• 真空チャンバー：SUS304ステンレス製、サイズ Φ500 mm × H600 mm、前扉に観察窓あり（電子銃とワーク確認用）。
• 電子銃：E-type 10 kW ×1基、チャンバー底部設置、空気圧バッフル付き；ビーム偏向角270°；6穴水冷銅クルーシブル（電気的転換可能）。
• 熱蒸着：回転式熱蒸着源2系統（切替可）；電子銃蒸発源