電圧出力ガスセンサー

... 製品概要
Gasboard-2060はNDIR技術を用いたSiF4ガスセンサーで、シリコン系CVD堆積装置のチャンバー洗浄におけるエンドポイント検出（EPD）をリアルタイムで行うために設計されています。専用のガスセルと光学系を統合し、チャンバー洗浄プロセスにおけるSiF4濃度を選択的に測定します。Gasboard-2060は高速な応答でSiF4濃度を報告し、アナログ／デジタルインターフェースを通じてプロセス制御システムに統合できます。

特長

• SiF4測定に最適化されたNDIR検出。
• 洗浄エンドポイントの精密判定を可能にする高速応答（T90＜2s）。
• 低ゼロドリフトと高い再現性による安定出力。
• 設置・保守が容易なモジュラーかつコンパクトな設計。
• アナログ（1–10VDC）およびデジタル（RS232）出力、サンプリングポート：KF16。

... 概要
Gasboard-2060 は、シリコン系 CVD 成膜チャンバーのリアルタイムチャンバー洗浄エンドポイント検出（EPD）向けに設計された高性能 SiF4 ガスセンサーです。特別に設計されたガスチャンバーと非分散型赤外線（NDIR）技術に基づき、半導体チャンバー洗浄プロセスにおける SiF4 濃度を高選択性かつ高精度で測定します。Gasboard-2060 は SiF4 濃度をリアルタイムで監視し、洗浄エンドポイントを迅速かつ正確に検出して洗浄時間とガス消費を削減し、チャンバーの摩耗を最小限に抑えて構成部品の使用寿命を延ばします。モジュール設計により取り付けが容易で、較正および調整機能をサポートし、統合と保守を簡便にします。

特長

• NDIR

測定範囲(%): 0 % - 100 %

... 製品概要

• 環境検知
• ガス漏れ検知
• プロセスおよび周囲のオンライン監視
• 高速応答と高精度測定
• センサーの毒性影響に強い設計
• 酸素を必要としない動作
• 想定寿命 >5 年
• 組込みに適した小型・軽量設計

... 概要

• 産業用途向けの環境およびガス漏れ検知
• オンライン監視、迅速な応答と精度の高い測定
• 検出原理はNDIR—センサーの中毒に強く、測定に酸素を必要としない
• コンパクトな形状で長い想定寿命（>5年）

• MST-N7M

• 対象ガス: C3H2F6（ヘキサフルオロプロパン）
• 測定原理:

... 概要
MST-N7M は CS2（硫化炭素）検出用の非分散型赤外線（NDIR）ガスセンサーです。産業および環境用途向けに設計されており、オンラインの連続監視や迅速な漏洩検知に対応し、安定した長期運用とコンパクトな筐体を特徴とします。

主な特徴

• 環境モニタリング
• ガス漏れ検知
• オンライン連続監視
• 高速応答と高精度測定
• 中毒（ポイズニング）に強い
• 酸素を必要とせず動作
• 長寿命（>5