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... 概要
Gasboard-2061 は、タングステン CVD（WCVD）成膜チャンバー内での WF6 濃度のリアルタイム測定およびエンドポイント検出（EPD）向けに設計された NDIR WF6 ガスセンサーです。真空およびプロセス条件下で高感度かつ再現性のある測定を提供し、正確なエンドポイント表示と洗浄ガス使用量の低減に寄与します。
設計と統合
コンパクトでモジュラー設計の Gasboard-2061 は、真空プロセスラインへの容易な取り付けを想定しています。316L ...
... 製品概要
Gasboard-2060はNDIR技術を用いたSiF4ガスセンサーで、シリコン系CVD堆積装置のチャンバー洗浄におけるエンドポイント検出（EPD）をリアルタイムで行うために設計されています。専用のガスセルと光学系を統合し、チャンバー洗浄プロセスにおけるSiF4濃度を選択的に測定します。Gasboard-2060は高速な応答でSiF4濃度を報告し、アナログ／デジタルインターフェースを通じてプロセス制御システムに統合できます。
特長
- SiF4測定に最適化されたNDIR検出。
- 洗浄エンドポイントの精密判定を可能にする高速応答（T90＜2s）。
- 低ゼロドリフトと高い再現性による安定出力。
- 設置・保守が容易なモジュラーかつコンパクトな設計。
- アナログ（1–10VDC）およびデジタル（RS232）出力、サンプリングポート：KF16。
仕様
測定ガス：SiF4
検出原理：NDIR（非分散型赤外線）
レンジ：（0.0–0.2）Absorbance
応答時間：T90＜2s
データ報告間隔：0.5s
アナログ出力：1–10VDC
電源入力：15VDC（≤300mA）または24VDC
デジタル通信：RS232
サンプリングポート：KF16
寸法：200 ...
Gasboard-2510 酸素センサーは、リアルタイムで正確な酸素濃度を提供できます。TDLAS (Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy) 技術を採用することにより、Gasboard-2510 酸素センサーは、酸素測定の高速応答機能を備えた比類のない信頼性を提供します。 Gasboard-2510 酸素センサーは、高精度と優れた再現性を実現するために、最大 0.01% の分解能で 0%~100% レベルの測定範囲に達することができます。 補助二酸化炭素センサーは、CO2 ...
... 製品概要
Gasboard-2061は、タングステンCVD（WCVD）チャンバーの洗浄エンドポイント検出向けに設計されたNDIR方式のWF6ガスセンサーです。プロセス条件下でWF6濃度を高感度かつ安定的に計測し、洗浄の終了判定をリアルタイムで行うことで、洗浄時間の短縮、過剰なガス使用の抑制、チャンバー摩耗の低減に寄与します。
Gasboard-2061はコンパクトでモジュール式の設計により取り付けが容易です。アナログ／デジタルの入出力を備え、較正・調整が可能でプロセス制御システムへの統合が容易です。
特長
- WF6監視に最適化されたNDIR測定方式。
- 濃度変化をリアルタイムで追跡する高速応答。
- 低ゼロドリフトと高い再現性による安定した測定。
- 真空環境での運用に適した密封設計。
- 腐食性のあるプロセス環境に耐える316L製構造。
- 統合・保守に対応するアナログ／デジタルI/O。
仕様
測定成分：WF6
レンジ：0–200 ...
... 概要
Gasboard-2060 は、シリコン系 CVD 成膜チャンバーのリアルタイムチャンバー洗浄エンドポイント検出（EPD）向けに設計された高性能 SiF4 ガスセンサーです。特別に設計されたガスチャンバーと非分散型赤外線（NDIR）技術に基づき、半導体チャンバー洗浄プロセスにおける SiF4 濃度を高選択性かつ高精度で測定します。Gasboard-2060 は SiF4 濃度をリアルタイムで監視し、洗浄エンドポイントを迅速かつ正確に検出して洗浄時間とガス消費を削減し、チャンバーの摩耗を最小限に抑えて構成部品の使用寿命を延ばします。モジュール設計により取り付けが容易で、較正および調整機能をサポートし、統合と保守を簡便にします。
特長
- NDIR
測定範囲(ppm): 0 unit - 250 unit
測定範囲(%): 50 %
... 各種ガス用ガスプローブ - アンモニア - 二酸化窒素 - 窒素酸化物 - 塩素ガス - 二酸化硫黄 - 硫化水素 - 酸化エチレン ...
... 製品概要: MST136 空気質（臭気）センサーは、高感度、低コスト、長寿命、低消費電力の利点を持っています。これは、多くの微量還元ガス（または微毒性ガス分子）に高感度な広域ガスセンサーです。 技術仕様 / 特徴: - モデル: MST136 - タイプ: 匂いセンサー、半導体検知シリーズ - アプリケーション: 空気質（臭気）検出 - 利点: 高感度、低コスト、長寿命、低消費電力 - 検出: 広域スペクトル、多くの微量還元ガスまたは微毒性ガス分子に敏感 ...
Ningxia Maiya Sensor Technology
... 製品概要: MST140電気化学式一酸化炭素（CO）ガスセンサーは、燃料電池型センサーです。一酸化炭素と酸素は、作動電極と対電極で対応する酸化還元反応を起こし、電荷を放出して電流を形成します。生成された電流の大きさは、一酸化炭素の濃度に比例し、ファラデーの法則に従います。一酸化炭素の濃度は、電流の大きさを測定することで決定できます。 センサーの特徴: - 一酸化炭素に対する高感度と高選択性 - 一酸化炭素への非常に迅速な応答 - 線形出力 - 長寿命 - 環境に優しい構造設計 - 独自の漏れ防止構造 主な用途: - ...
Ningxia Maiya Sensor Technology
... 製品詳細 センサーの特徴: - 水素に対する高感度と高選択性 - 水素への非常に迅速な応答 - 線形出力 - 長寿命 - 環境に優しい構造設計 - 独自の漏れ防止構造 主な用途: - 商業用途における水素濃度検出 - エネルギー貯蔵発電所 - 車載システム 製品仕様: - 対象ガス: 水素 - 測定範囲: 0~1000ppm - 極限過負荷: 2000ppm - 出力信号: 0.2~0.8nA/ppm - 再現性: ±2% - 分解能: 0.5ppm - 典型的な応答時間 (t90): <60秒 - ...
Ningxia Maiya Sensor Technology
測定範囲(ppm): 0 unit - 5,000 unit
... メンテナンスフリーのAERASGARD® ACO2-SDは、アクティブ出力、自動校正(固定)、耐衝撃性プラスチックハウジング、クイックロックネジ付きで、空気中のCO2含有量(0...2000 ppm/0...5000 ppm)を測定するための壁面空気品質測定トランスデューサーです。トランスミッタは測定値を0-10 Vの標準信号に変換します。 メンテナンスフリーのAERASGARD® ACO2-Wは、アクティブ/スイッチング出力、自動キャリブレーション(解除可能)、クイックロックスクリュー付き耐衝撃性プラスチックハウジング、オプションでディスプレイ付き/なし、空気中のCO2含有量(0...2000 ...
S+S Regeltechnik
... ガスモニタリングの要件に、可燃性センサーや他の4-20mAデバイスを終端する柔軟で費用効果の高い手段が含まれる場合、STBは完璧なソリューションです。また、STBは、センサとトランスミッタ/ディスプレイの分離が必要な設置条件でも使用できます。 デトロトロニクスの触媒式可燃性ガスセンサー（CGS）、C706X電気化学センサー（引退）、GT3000ガスセンサー、およびイーグル・クァンタム・プレミア®（EQP）システムのコンポーネントに対応するモデルをご用意しています。 技術仕様 端子UL/CSA定格：14～22 ...
測定範囲(ppm): 0 unit - 40,000 unit
測定範囲(%): 0 % - 100 %
... ZC601-H2触媒モジュールは、小型で汎用的なガス検知モジュールです。このモジュールには、短いウォームアップ時間と高速応答という特徴を持つWinsenの触媒燃焼センサーが搭載されています。回路はホイートストンブリッジ、高精度プロセッサ、インテリジェントアルゴリズムを使用して、検出されたガス濃度をデジタル信号に変換し、シリアルポート、アナログ信号などを介して送信します。 検査に対応 水素ボイラーの漏れ検知、水素ステーションのガス漏れ検知、バッテリーの熱暴走検知、ポータブル水素検知器など。 オプション 予熱時間が短く、応答速度が速く、テスト耐性が高く、耐用年数が長いのが特徴です。 ...