Medidor de vazão térmico GF1 series

de massapara gásem linha

Percurso do fluxo de elevada pureza. Excelente desempenho, fiabilidade e repetibilidade. Resposta rápida, fornecimento repetível de gases de processo com níveis de pureza elevados e ultraelevados - é esse o desempenho que a série GF100 de medidores e controladores de caudal mássico com vedação metálica proporciona. Concebida para semicondutores, MOCVD e outras aplicações de controlo do fluxo de gás, a série GF100 excede o padrão da indústria de semicondutores em termos de fiabilidade, assegurando um desempenho repetível e altamente estável ao longo do tempo. A tecnologia MultiFloTM padrão permite que um MFC suporte milhares de tipos de gás e combinações de faixas sem removê-lo da linha de gás ou comprometer a precisão. O resultado: maior flexibilidade e eficiência do processo combinadas com os mais altos níveis de pureza de gás de processo da indústria para ajudar a maximizar os rendimentos e a produtividade. Caraterísticas - Estabilidade de zero a longo prazo de <±0,5% da escala completa por ano - Tempos de estabilização: 700 ms - <1 segundo - Caminho do fluxo com vedação totalmente metálica: opção para acabamento de superfície Ra de 4µ ou 10µ polegadas - O sensor Hastelloy® T-Rise, resistente à corrosão, melhora a reprodutibilidade da medição em temperaturas elevadas - Programabilidade de gás e faixa MultiFloTM - um dispositivo, milhares de tipos de gás e combinações de faixa sem remover o MFC da linha de gás ou comprometer a precisão - Visor local - Fornecimento opcional de gás SDS - DeviceNetTM, RS-485 L-Protocol e interfaces analógicas Vantagens Componentes de alto desempenho testados em maratona até sete vezes os padrões da indústria de semicondutores para fiabilidade Todo o metal, caminho de fluxo resistente à corrosão com área de superfície reduzida e volumes não varridos garante uma secagem mais rápida durante as etapas de purga