Regulador de vazão de massa GF1 series

para gás

Melhorado com a velocidade do EtherCAT® Desempenho aperfeiçoado para processos de semicondutores - Os diagnósticos incorporados aproveitam as capacidades de aquisição de dados EtherCAT® em tempo real - Sensor de caudal ultra-estável (≤ 0,15% de desvio S.P. por ano) permite uma maior precisão do set point baixo e reduz os requisitos de manutenção - A paragem melhorada da válvula (≤ 0,15% do intervalo do depósito) reduz a fuga da válvula para reduzir os efeitos da primeira bolacha - A insensibilidade a transientes de pressão recentemente melhorada reduz a sensibilidade de diafonia para um fornecimento consistente de caudal mássico Caraterísticas - Estabilidade de zero a longo prazo de <±0,15% da escala completa por ano - Tempos de estabilização: 300 ms - <1 segundo - Caminho de fluxo com vedação totalmente metálica: opção para acabamento de superfície Ra de 5µ ou 10µ polegadas - O sensor Hastelloy® T-Rise, resistente à corrosão, melhora a reprodutibilidade da medição em temperaturas elevadas - Programabilidade de gás e faixa MultiFloTM - um dispositivo, milhares de tipos de gás e combinações de faixa sem remover o MFC da linha de gás ou comprometer a precisão - O prático ecrã do utilizador e a porta de diagnóstico/serviço independente ajudam na instalação, monitorização e resolução de problemas do dispositivo O Sistema de Entrega Segura (SDS®) GF120 é o controlador de fluxo de massa de baixa queda de pressão de última geração da Brooks para a entrega de gases do Sistema de Entrega Segura (SDS) subatmosférico usados em processos de Implante e Etch