Medidor de vazão térmico 9861

de massapara gásem aço inoxidável

os controladores de caudal mássico (MFC) e os contadores de alta temperatura foram concebidos para controlar e medir o caudal mássico de vapor a partir de fontes líquidas ou sólidas, para apoiar a utilização crescente destes precursores nos processos de fabrico de semicondutores. O módulo de caudal do GF120xHT pode suportar ambientes de funcionamento até 150°C. Para suportar esta gama de temperaturas, a eletrónica é ligada remotamente ao resto do dispositivo e montada num local de temperatura mais baixa (máx. 50°C). A eletrónica remota pode ser montada em DIN com uma escolha de três comprimentos diferentes de cabos de interligação - 3 pés, 8 pés e 16,5 pés standard. A vasta gama de protocolos de comunicação e opções de encaixe fazem do GF120xHT a escolha ideal para a próxima geração de equipamentos de processo e atualização para MFCs aquecidos antigos. Caraterísticas Projetado para aplicações de alta temperatura de até 150°C A conveniente porta de serviço fornece acesso a diagnósticos através de uma interface de fácil utilização Sensor Hastelloy resistente à corrosão Calibrado de acordo com as condições de processo do cliente Vantagens Capacidade de suportar aplicações até 150°C para fornecimento de vapor de precursor líquido A interface de diagnóstico de fácil utilização ajuda o engenheiro de processo a garantir que o MFC está a funcionar dentro dos limites especificados para um rendimento elevado e um tempo de funcionamento máximo Fornece estabilidade inigualável do sensor a longo prazo para obter o máximo de rendimento e produtividade Calibrado à temperatura e pressão de funcionamento do cliente para um desempenho ótimo