Estabilidade comprovada a longo prazo. Desempenho ultra-puro para aplicações de alta pressão.
os controladores de caudal mássico com vedação metálica da série 5850EM medem e controlam caudais de gás a alta pressão em ambientes ultra-limpos, com uma estabilidade comprovada baseada no desempenho dos controladores de caudal mássico das séries 5850E e i, amplamente utilizados. A sua construção com vedação metálica e as superfícies molhadas electro-polidas asseguram uma integridade de caudal excecional e ajudam a melhorar a eficiência global do processo, eliminando a necessidade de monitorização e reajustamento contínuos das pressões de gás para proporcionar um caudal de gás estável.
Caraterísticas
- Estabilidade de zero a longo prazo de <0,2% da escala completa por ano
- Tempo de estabilização de <3 segundos para alterações de comando com ultrapassagem/retrocesso insignificante
- Acabamento interno de processo melhorado opcional - Ra médio de 5µ polegadas
- Sensor de caudal amovível
- Insensível à atitude de montagem
- Mecanicamente e eletricamente compatível com outros controladores de caudal mássico
- Função de "válvula desligada" e purga compatível com TTL
Vantagens
O percurso do caudal totalmente em metal aumenta a pureza do gás e reduz as fugas
Estabilidade e precisão comprovadas a longo prazo numa vasta gama de processos e aplicações
Excelente retorno do investimento devido ao desempenho fiável
O sensor de caudal amovível elimina a necessidade de monitorização e reajustamento contínuos das pressões do gás
Fácil instalação e manutenção com entradas/saídas apenas analógicas
Aplicações
Fibra ótica
LED / MOCVD
Semicondutores
Solares
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