Máquina de deposição por pulverização catódica de metalização FLC

para aplicações automotivas

Visão geral
A série LEYBOLD OPTICS FLC inclui sistemas de deposição por sputter em alto vácuo, roll-to-roll, concebidos para P&D e produção. Modulares e configuráveis com até seis cátodos giratórios, permitem deposição multicamadas em uma só passagem e estão disponíveis em larguras de revestimento de 650 mm, 1600 mm e 2000 mm.

Principais benefícios

• Deposição multicamada em uma única passagem mediante separação de gases opcional entre secções de processo, possibilitando pilhas mistas de metal/dielétrico numa só passada.
• Configuração flexível: até seis cátodos giratórios, diferentes opções de alimentação, metrologia in-situ, pré-tratamento por plasma e sistemas de bobinagem configuráveis.
• Rápida mudança de aplicação através da substituição de alvos e receitas com modificações de hardware mínimas, adequada a P&D e testes de produção.

Recursos em destaque

• Versatilidade: suporte a fontes DC, DC pulsado unipolar, DC pulsado bipolar e MF para processos reativos e não reativos.
• Controlo de partículas e estabilidade de processo: orientação sputter-up dos cátodos, bombas turbomoleculares, armadilhas frias e tambor de revestimento com controlo de temperatura (padrão -15 a +80 °C).
• Manutenção: disposição da máquina que facilita o acesso aos componentes-chave para limpeza e assistência.

Substratos e materiais compatíveis

• Substratos: PET, PEN, PI, alumínio, aço inoxidável, cobre, vidro flexível; diâmetro de rolo substrato até 500 mm.
• Materiais de deposição: metais (Ag, Al, Cu, Cr, NiCr, Ti) e dielétricos/óxidos (AZO, ITO, SiO2, SiN, SnO2, Nb2O5, TiO2).

Aplicações

• Camadas condutoras transparentes ITO para ecrãs e touchscreens.
• Placas de circuito flexíveis (FPCB) e metalização de filmes para condensadores roll-type.
• Vidros low-e e smart glass, peles eletrocrómicas para envidraçados arquitetónicos e automotivos.
• Revestimentos funcionais para melhorar o desempenho de baterias de iões de lítio e outros materiais eletrónicos avançados.

Outras características / Especificações técnicas

• Família de modelos: LEYBOLD OPTICS FLC series
• Tamanhos / larguras de revestimento: 650 mm, 1600 mm, 2000 mm
• Largura típica (ex. FLC 650): até 650 mm
• Diâmetro máximo de rolo substrato: até 500 mm
• Intervalo de temperatura do tambor: padrão -15 °C a +80 °C
• Cátodos: até seis cátodos giratórios; orientação sputter-up
• Fontes de alimentação suportadas: DC, DC pulsado unipolar, DC pulsado bipolar, MF
• Equipamento de vácuo: bombas turbomoleculares e armadilhas frias
• Opções de processo: separação de gases entre secções, pré-tratamento por plasma, medição de camada in-situ, controlo de processo em malha fechada, sistema de bobinagem configurável