Estufa de oxidação LPvertical
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Características
- Função
- de oxidação
- Configuração
- vertical
Descrição
Esta máquina foi concebida para melhorar a eficiência da célula através da aplicação de uma camada de passivação na parte da frente da bolacha de silício após o isolamento da borda e a remoção do PSG.
Características
Alto rendimento: 14.400 bolachas/hora (2.400 bolachas/barco)
Tempo de ciclo: 60min
Tempo de actividade: 99%
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