Sistema de preparação de amostras automático ArBlade 5000

para SEMde polimento com feixe de íons

O mais avançado sistema de feixe de iões largos para produzir amostras de secção transversal ou de fresagem plana de excecional qualidade para microscopia eletrónica. O ArBlade 5000 está equipado com um canhão de iões de Ar de fresagem rápida com uma velocidade de fresagem duas vezes superior para um desempenho de ponta, reduzindo assim drasticamente o tempo de processamento para a preparação de secções transversais. *o 1Si sobressai 100 um do bordo da máscara. Comparação da fresagem de secções transversais (Amostra: chumbo para lapiseira, tempo de fresagem: 1,5 horas) Larguras de secção transversal até 8 mm! Para requisitos de fresagem de grandes áreas, tais como aplicações em dispositivos electrónicos, foi desenvolvido um design revolucionário de suporte de fresagem de secções transversais para fabrico de áreas mais largas. Exemplo de fresagem de secções transversais de grande área (Peça: componente eletrónico, tempo de fresagem: 5 horas) Modelo híbrido: Configuração de fresagem dupla disponível O novo sistema de fresagem iónica está equipado com modos de fresagem de secções transversais e de fresagem plana para as necessidades de aplicação mais complexas. Equipado com vários suportes, o sistema ArBlade 5000 acomoda uma vasta gama de aplicações. Fresagem de secções transversais Utilizada para produzir secções transversais mais largas e não distorcidas sem aplicar tensão mecânica à amostra Fresagem plana Utilizada para remover artefactos da camada superficial e polimento final após técnicas tradicionais de polimento mecânico. As versões criogénicas da ArBlade 5000 permitem o arrefecimento ativo da fase de fresagem de secções transversais durante o processamento da amostra. Um dewar de azoto líquido integrado ligado à fase de secção transversal remove eficazmente o calor induzido durante a fresagem por feixe de iões da máscara de proteção e da amostra.