Sistema de preparação de amostras automático IM4000II

para SEMde polimento com feixe de íons

O IM4000II suporta tanto a fresagem de secções transversais como a fresagem plana para preparar amostras, dependendo do objetivo. O controlo da temperatura de arrefecimento, a unidade de suporte de proteção do ar e várias opções permitem a preparação de várias amostras de secções transversais. Elevada taxa de fresagem A taxa de fresagem de secções transversais*1 do IM4000II é de 500 µm/h ou superior. É eficaz para materiais duros que, convencionalmente, requerem um processamento prolongado. Quando o ângulo de oscilação durante a fresagem da secção transversal muda, a largura e a profundidade de processamento correspondentes mudam. A figura abaixo mostra as imagens SEM de uma pastilha de Si após a fresagem em secção transversal. As condições de processamento são as mesmas que as mostradas acima, exceto que o ângulo de oscilação foi reduzido de ±30˚ para ±15˚. É demonstrado que a profundidade de processamento é mais profunda do que os resultados anteriores e, por conseguinte, muito eficaz para a preparação rápida de secções transversais de amostras com uma estrutura alvo afastada da superfície superior. Fresagem híbrida Fresagem de secções transversais É possível obter uma superfície pura através da pulverização catódica (fresagem) de partes salientes da amostra que se estendem para além da borda da máscara. Ao irradiar o feixe de iões paralelamente à superfície processada da amostra, é possível uma fresagem plana e suave, mesmo com materiais complexos de diferentes composições.