Sistema de feixe de íons focalizado MR8000

Este sistema de reparação de defeitos de fotomáscaras FPD utiliza a tecnologia de feixe de iões focados (FIB) e suporta fotomáscaras de grande escala. Um mecanismo de rotação no interior da câmara minimiza a área de instalação. Suporta grandes máscaras de ecrã plano Pode receber fotomáscaras de grandes dimensões até um tamanho máximo de 1400×1600 mm. Pode depositar película de elevada aderência Pode formar película com força de adesão comparável à película Cr na máscara, utilizando um gás especial. Pode reparar máscaras de tons de cinzento A função de deposição de carbono FIB permite a reparação de defeitos claros em máscaras de tons de cinzento que utilizam películas de meio-tom. Tamanhos de máscara - Máximo: 1400×1600 mm Mín: 6 polegadas Espessura máxima: 15 mm Espessura mínima: 5 mm Precisão da reparação - 50 nm@3σ Método de reparação de defeitos claros - Deposição de carbono FIB Método de reparação de defeitos opacos - Gravura assistida por gás