Um sensor para um controlador da espessura da película de um oscilador de cristal que incorpora 6 ou 12 cristais
Características
Utilizado para medir a espessura da película e a taxa de geração de película durante o processamento de películas finas.
Quando um cristal falha, o sensor pode ser utilizado tal como está, mudando para o cristal seguinte.
Uma vez que a abertura do detetor está numa posição fixa, não é necessário alterar o Fator de Ferramenta para cada mudança de cristal.
Existem 2 tipos de cabeças de sensor: planas e de 45°. Estas podem ser utilizadas seletivamente de acordo com a posição de montagem.
Adequado para processos de deposição em vácuo ou de pulverização catódica a longo prazo e de grande volume.
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