Visão geralO Módulo de Fornecimento de Líquidos (CDM) JW-300-LDS CDS baseia‑se em válvulas diafragma de Ultra‑Alta Pureza (UHP) projetadas para manusear ataques químicos agressivos e suspensões abrasivas na produção de semicondutores. Seleção adequada de válvulas, monitoramento e manutenção são essenciais para evitar contaminação, desprendimento de partículas e paradas não programadas.
Manutenção e recomendações de projetoEscolha válvulas diafragma UHP com vedação metal‑a‑metal que isolem o fluido do processo do atuador para eliminar volume morto. Implemente monitoramento preditivo via PLC do CDM: registre contagens de ciclo das válvulas e diferenças de pressão no coletor para detectar degradação da membrana antes de vazamentos. Estabeleça protocolos de lavagem com água deionizada para evitar cristalização química nos assentos e planeje a substituição de componentes de alto desgaste durante janelas de parada planejadas para manter pureza em partes por trilhão (ppt) e prolongar a vida útil do módulo.
Dados técnicosModel : JW-300-LDS CDS
Special gas cabinet size : W1900*D800*H2100
Control cabinet power supply : Control power supply: 220VAC, 50HZ, 500W, heating power supply: 220VAC, 50HZ, 1-6KW
Purge : PN2,1/4”MVCJ
High pressure holding : GN2.1/4” MVCJ
Vacuum : 1/2” MVCJ
VENT drain pipe : CDA driver, 1/4" SWG
Pneumatic air source : OD 150MM, silane 810m³/hr; others 204m³/hr
Cabinet ventilation : OD 150MM, silane 810m³/hr; others 204m³/hr
Standard equipment : Automatic switching, automatic purging, explosion-proof and anti-leaving cabinet, explosion-proof self-locking door, explosion-proof glass observation window, leakage alarm, remote cut-off, negative pressure alarm
Operation interface : 10" color touch screen
Opcionais- Detector de chama UV/IR
- Aquecimento do cilindro
- Aquecimento do painel
- Módulo de comunicação Ethernet
- Balança
- Chave de fluxo excessivo
- Interruptor de sensor de fumaça
Aplicações- Semicondutor
- Fotovoltaico
- Energia solar
- Painel de cristal líquido
- Fibra óptica
- Outros campos de produção
Produtos químicos especiais manuseados- HF - ácido fluorídrico
- HCL - ácido clorídrico
- H2O2 - peróxido de hidrogênio
- KOH - hidróxido de potássio
- HNO3 - ácido nítrico
- NH4OH - hidróxido de amônio
- H2SO4 - ácido sulfúrico
Função- Filtração de produtos químicos líquidos
- Amostragem de produtos químicos líquidos
- Circulação de produtos químicos líquidos
- Fornecimento/entrega de produtos químicos líquidos
Observações sobre construção e desempenhoOs caminhos molhados do fluido utilizam aço inoxidável 316L eletropolido com acabamento superficial 5Ra para minimizar liberação de partículas e garantir compatibilidade química. Válvulas diafragma UHP proprietárias apresentam vedação metal‑a‑metal e automação controlada por PLC para gestão de receitas e manutenção preditiva. Protocolos de segurança em múltiplas camadas incluem contenção secundária, cobertura com nitrogênio e detecção automática de vazamentos para proteger o pessoal e o rendimento.
especificações técnicas- Model: JW-300-LDS CDS
- Tamanho do gabinete: W1900 × D800 × H2100
- Alimentação de controle: 220VAC, 50Hz, 500W; potência de aquecimento: 220VAC, 50Hz, 1–6KW
- Gás de purga: PN2, 1/4" MVCJ
- Manutenção de alta pressão: GN2, 1/4" MVCJ
- Conexão de vácuo: 1/2" MVCJ
- Tubo de drenagem VENT: CDA driver, 1/4" SWG
- Capacidade fonte de ar pneumático: OD 150mm; silano 810 m³/hr; outros 204 m³/hr
- Capacidade de ventilação do gabinete: OD 150mm; silano 810 m³/hr; outros 204 m³/hr
- Interface de operação: tela tátil colorida 10"
- Recursos/padrões de segurança: comutação automática, purga automática, gabinete à prova de explosão e porta, janela de visualização em vidro à prova de explosão, alarme de vazamento, corte remoto, alarme de pressão negativa
- Materiais & acabamento: aço inoxidável 316L eletropolido, acabamento superficial 5Ra
- Funções chave: filtração, amostragem, circulação, entrega de produtos químicos líquidos especiais