Visão geralO sistema capacitivo TFG6220 mede com precisão a espessura de filmes condutores (ex.: filmes de bateria). Um dispositivo de vácuo retém e alisa a amostra para fornecer uma superfície de referência sem rugas. A unidade é pré‑montada para rápida implementação e foi concebida para inspeções de qualidade offline por amostragem aleatória.
Funcionalidades principais- Alisamento a vácuo do filme para eliminar rugas e garantir posicionamento repetível
- Suporte de medição com dois sensores capacitivos e inserto de medição integrado para referência simples
- Aquisição e visualização de dados via sensorTOOL (interface web)
AplicaçõesInspeção offline e rápida da espessura de filmes condutores para controlo de qualidade e monitorização de processo, por exemplo filmes de baterias.
Especificações técnicas- Resolução: 10 nm
- Repetibilidade: 1 µm
- Espessura de filme mensurável: < 1 mm
- Princípio de medição: compensação entre dois sensores capacitivos
- Manuseio de amostras: dispositivo de vácuo externo para alisamento e fixação
- Configuração: pré‑montado, pronto para operação
- Software: sensorTOOL para visualização e ajustes