Máquina de inspeção para wafers NovusEdge®

industrialpara a indústria de embalagemde defeitos

O Sistema NovusEdge inclui configurações modulares para uma inspecção rápida e fiável do bordo, do entalhe e do verso da bolacha. Visão Geral do Produto O Sistema NovusEdge fornece uma inspecção de alta sensibilidade para a borda e o verso das bolachas nuas não-padronizadas para os nós actuais e avançados. Vários módulos podem ser configurados na mesma plataforma de automatização para aumentar a produção, mantendo ao mesmo tempo uma pequena pegada para um melhor custo de propriedade. A solução de manipulação de arestas para a plataforma de automação e os módulos de inspecção proporciona a limpeza desejada necessária para o fabrico de wafers. A inspecção opcional de alta sensibilidade de entalhes pode ser adicionada à configuração. Os defeitos detectados são automaticamente classificados e eliminados em tempo de execução para reduzir a revisão manual pelo operador. O sistema é concebido como um sistema polivalente de inspecção e classificação para a inspecção de qualidade de saída de fim de linha de 300mm de bolachas não padronizadas. O sistema permite identificar, inspeccionar e classificar as bolachas de acordo com receitas livremente definidas. Aplicações - Inspecção em processo de wafers não-padronizados no local de fabrico do wafer. - Inspecção de bolachas não-padronizadas em fornecedores externos de subconjuntos e testes, fabricantes de dispositivos integrados, e fundições. - Qualificação e monitorização de ferramentas de processo em conjunto com as bolachas de teste. Especificações - Sensibilidade ao bordo submicron - Sensibilidade traseira até níveis nanométricos - Inspecção completa de entalhes de cobertura - Perigo - Capacidade de ordenação - Configuração flexível de ferramentas - Classificação automática de defeitos com classes de defeitos definíveis pelo cliente