Sistema de litografia para a indústria dos semicondutores JetStep® G35

Concebido para flexibilidade, o sistema JetStep® G35 System utiliza uma família de lentes de projecção de alto desempenho para permitir imagens de alta resolução para fabricantes de ecrãs planos. Visão Geral do Produto O sistema Jetstep G35 é um sistema de imagens de fabrico de grande volume para ecrãs até ao Gen 3.5. O sistema JetStep G35 permite imagens de alta resolução até 1,5µm combinado com a precisão de registo e costura exigida pela mais avançada produção de ecrãs de alta resolução. Aplicações - LCD - TFT - AMOLED - Micro-LED Especificações - Lente de projecção de alta fidelidade e sistema de iluminação para resolução até 1,5µm - Formato de retículo padrão da indústria de 6 polegadas para fabrico rentável - Controlo automatizado da ampliação aumentou a janela do processo - Sistema de gestão de retículos a bordo para proporcionar a máxima utilização - Pacote de metrologia a bordo para calibração in situ - Focagem automática em cada local de exposição para ajustar automaticamente o foco sobre a topologia do painel - Diagnósticos a bordo que fornecem feedback sobre o desempenho do sistema e resolução de problemas