O DF-760E ULTRA é um analisador duplo de humidade/oxigénio para gases UHP
Proporcionando medições de controlo de qualidade líderes na indústria para gases UHP a granel, o analisador compacto DF-760E NanoTrace ULTRA é uma solução superior para a medição dupla de humidade (H2O) e oxigénio (O2) vestigiais e ultra-vestígios.
Medições de traços/ultra-traços TDL de alta estabilidade
Uma solução sem compromissos
Manutenção simples e custos contínuos reduzidos
Oferecendo uma solução integrada compacta para a monitorização simultânea de vestígios de humidade e oxigénio, o DF-760E ULTRA é um analisador concebido para monitorizar gases a granel UHP utilizados no fabrico de placas de circuitos integrados.
Combinando as propriedades líderes do sector do sensor coulométrico não esgotável da Servomex e a robusta tecnologia de laser de díodo sintonizável (TDL) numa única unidade compacta, o DF-760E ULTRA mede níveis ultra-baixos de contaminantes de H2O e O2 em misturas de gases de fundo de azoto (N2), hidrogénio (H2), hélio (He), O2 e árgon (Ar) (H2O em O2 apenas).
Oferecendo Limites Inferiores de Deteção (LDL) excecionalmente baixos, líderes na indústria, de 55ppt (H2O) e 45ppt (O2), o DF-760E ULTRA proporciona uma velocidade de resposta rápida, estabilidade insuperável e imunidade a danos provocados por ácidos vestigiais, tornando-o ideal para a verificação da qualidade e deteção de fugas em aplicações FAB de semicondutores.
Este desempenho de medição incomparável é suportado por um design de baixa manutenção, fornecido através das tecnologias de deteção resilientes de desvio zero que não requerem calibração contínua.
Quando se trabalha no fabrico de placas de circuitos integrados, o controlo de qualidade do gás UHP de grau eletrónico é crucial.
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