Dispositivo de pulverização catódica para montagem interna MC-Series

O MC é o nosso bloco final de montagem interna de tamanho médio. Pode lidar com alvos até 2500 mm e tem uma potência nominal de até 100 kW DC ou 80 kHz MFAC. Os blocos finais SCI têm alta confiabilidade e um design simples e fácil de manter. A configuração com uma extremidade reduz o número de selos rotativos e estáticos, um dos modos de falha mais comuns nos cátodos rotativos. A nossa função única de enchimento e drenagem de água permite um melhor arrefecimento e drenagem total da água alvo ao soprar. O desenho elimina a possibilidade de corrosão galvânica no interior do bloco terminal, o que poderia levar a fugas de água e curto-circuitos. Os blocos finais MC da Sputtering Components podem ser instalados em qualquer novo revestimento ou podem facilmente substituir sistemas planares. Características Tecnologia patenteada de fornecimento de energia Método exclusivo de fixação do alvo Selos rotativos duráveis e de longa duração Montagem padrão da indústria para tampa Desenho do alvo não-proprietário Alvo de água patenteado encher abd dreno A barra magnética pode ser ajustada em qualquer ângulo Benefícios A mais alta confiabilidade do mercado Fácil de instalar ou reequipar a partir de blocos finais de competição A mudança de alvo mais rápida disponível 1 hora de manutenção anual; 3 horas de reconstrução total do bloco final O mais baixo custo de manutenção Usar metas de qualquer fornecedor Alta potência, sem impacto de aquecimento indutivo - sem pó de escova Sem corrosão galvânica