Magnetron rotativo TC-Series

de pulverização por bombardeamento iônico

Os blocos terminais internos da série TC possuem uma tecnologia única de fornecimento de energia com o design mais compacto disponível. O TC pode lidar com alvos até 1500 mm e tem uma potência nominal de 40 kW DC ou 80 kHz MFAC. Os blocos terminais de montagem interna da SCI têm alta confiabilidade e um design simples e fácil de manter. A configuração com uma extremidade reduz o número de selos rotativos e estáticos, um dos modos de falha mais comuns nos cátodos rotativos. A nossa função única de enchimento e drenagem de água permite um melhor arrefecimento e drenagem total da água alvo ao soprar. O desenho elimina a possibilidade de corrosão galvânica no interior do bloco terminal, o que poderia levar a fugas de água e curto-circuitos. Os blocos terminais de montagem interna da Sputtering Components TC podem ser instalados em qualquer novo revestimento ou podem facilmente substituir sistemas planares. Características Tecnologia patenteada de fornecimento de energia Método exclusivo de fixação do alvo Selos rotativos duráveis e de longa duração O design mais compacto disponível para alvos industriais padrão Desenho do alvo não-proprietário Adapta-se a tamanhos-alvo padrão Função patenteada de enchimento/drenagem de água alvo Benefícios Excelente confiabilidade Fácil de instalar Mudança rápida de alvo 2 horas de manutenção anual; 3 horas de reconstrução total do bloco final Custo de manutenção muito baixo Usar metas de qualquer fornecedor Excelente capacidade de potência sem impacto de aquecimento indutivo - sem pó de escova Sem corrosão galvânica